第五十二章 追光行動(2)
更新時間:2024-06-20 作者:萬古青天一株柳
重燃2003 第五十二章 追光行動(2)
會議室的門緊緊的關閉著，將外界的喧囂隔絕，只留下室內的沉靜和緊張氣氛。 國安和軍方的人員分列兩旁，面無表情，仿佛是這緊張氣氛中的冷靜注腳。 卿云站在會議室前端，環視了一圈留下的大佬們，他知道，這些華國半導體產業的領軍人物，每一位都有著不凡的見識和膽識。 他也很清楚，接下來自己所要說的話，將會對在座的每一個人，甚至對整個華國半導體產業產生深遠的影響。 云帝準備揭開即將到來的幾年大戲的序幕。 卿云輕聲開口，聲音在靜謐的會議室中清晰可聞， “諸位前輩，接下來我們要討論的內容，關系到華國半導體產業的未來，也關系到我們每個人的責任與使命。” 他頓了頓，繼續說道：“在此之前，我必須確保所有的信息安全，這也是國安部門介入的原因。 接下來的討論，每一句話都具有極高的保密性，不允許有任何泄露的可能。” 眾人面面相覷后，‘大王先生’王守武微微頷首，表示理解，“小卿，你放心，我們這些老骨頭也是經過風浪的，知道輕重。” 黃令儀也開口道，“保密我們是懂的，你就直說吧，到底是什么樣的計劃，需要如此慎重其事。” 卿云點了點頭，他的眼神陡然間變得堅定起來，從蕭雅遞過來的文件袋里抽出一份文件，而后幾名國安的人員也同時將一個文件袋放在了各位大佬的桌上。 對卿云這種先聲奪人的舉措，嚴曉浪的心中本有些不忿。 其實，任何人在未經提前告知的情況下遭遇這種突如其來的、帶有強制性的保密措施，內心都難免有所抵觸。 這是人趨利避害的天性使然。 況且，曾作為燕京集成電路設計中心總工程師，主持過了國家第三級集成電路CAD系統的國家攻關任務，現任之江大學電氣工學院院長、超大規模集成電路設計研究所所長、SOC交叉研究中心主任的嚴曉浪，對這個模式并不陌生。 他很清楚，一旦組織上采用這種模式，就意味著一個超大的麻煩等著解決。 然而，當他的目光落在桌上文件的封面上，看到那標明的保密等級，心情頓時平復下來。 沒辦法，文件封面上標注的保密等級是“絕密”。 在他們這個級別的大佬日常接觸的文件中，保密文件是常態，而“絕密”等級的文件也并非罕見。 但當“絕密”后面緊跟著“核心”兩個字時，情況就非常不同尋常了。 而最令人倒吸一口涼氣的是，文件封面上還赫然印著“永不解禁”四個大字。 這在任何保密文件中都是極為罕見的，意味著這些文件直到銷毀，都不會有解密的一天。 所有人心中的不忿瞬間消散，甚至在沒有得到卿云明確的指令前，所有人都不敢輕易拆封文件袋。 這種級別的文件，他們明白，接下來的每一個動作都將承擔著重大的責任。 等蕭雅完成了對會議室的最后檢查，沖著卿云點頭示意沒有問題后，卿云這才清了清嗓子，開始介紹起來， “諸位前輩，現在諸位看到的，是與我恩師程進教授同時遭遇不幸的林本堅先生，在機場隨身攜帶的資料。 這些文件中，包含了浸沒式光刻技術的部分技術資料。” 卿云的話，并不多，但此話一出，會議室里的空氣似乎凝固了，所有人全部懵了圈。 他們面面相覷，幾乎不敢相信自己的耳朵。 浸沒式光刻技術，對于業界，并不是什么秘密，本身就是以會議論文形式提出來的。 大家都知道原理。 但是怎么實現，這就是林本堅和ASML的商業秘密了。 而這套殘缺的技術資料的出現，無疑將對華國半導體產業帶來翻天覆地的變化。 這…… 沒人管這些東西是怎么來的，也沒人管什么知識產權不知識產權的，會場里的大佬們一個個都呼吸粗重了起來，眼睛里全部綠油油的望著卿云。 等待文件開啟的命令。 卿云看著眾人震驚的表情，微微一笑，繼續說道，“現在給大家兩個小時的時間閱讀和理解這些資料。 同時，實在不好意思，從現在開始，諸位前輩的一舉一動都必須在國安及軍方的共同監控下。” 各位大佬完全不鳥他后面那句警告，這些規矩他們懂得，只會嫌這小子太呱噪了。 他們甚至比卿云更清楚，眼前的資料，按照國安的方式，每個人拿到的都是不同的。 在某個或者某幾個關鍵地方，一定會出現一些小錯誤，如此，將來一旦出現了泄露，國安能迅速的鎖定源頭。 他們一個個迫不及待地打開文件袋，開始仔細閱讀起來。 這些資料的價值，他們比任何人都清楚，這不僅是技術的突破，更是華國半導體產業發展的一個歷史性機遇。 會議室里響起了翻閱紙張的聲音，每一位在場的人都全神貫注地投入到了對這份珍貴資料的學習中。 他們知道，這可能是他們一生中最重要的兩個小時，每一個字、每一張圖、每一個公式，都可能成為改變未來的關鍵。 時間一分一秒地過去，120分鐘的閱讀時間，很快便走到了盡頭。 卿云輕聲提醒了一句“時間到了”，國安人員立刻走上前來，對資料進行了回收。 眼前的資料不過是個概述，而正式的資料，進組后才提供，這是規矩，大佬們都懂得起，自然不會有什么異議。 但是他們依然戀戀不舍地望著被收起的文件袋，目光中滿是復雜情緒。 黎光楠他們知道，這些資料所蘊含的價值，遠不止眼前所見的這些。 而后，他們的目光不約而同地轉向了臺前的少年，等待著他的下一步發言。 在這群人中，大王先生資歷最老，江湖地位也最高。 84歲的他首先開口，聲音中透露出一絲亢奮， “小卿，有話直說，要怎么安排，怎么進行，你直接吩咐就是了。” 大王先生的這句話，相當于代表在場的所有人進行了表態。 卿云心中感激，他對著所有大佬鞠了一躬，然后看向了那位主持了前兩代光刻機研發的徐端頤。 “徐老，”卿云的目光中帶著一絲期待，“您是浸淫此道多年的老前輩，我想請問您，有沒有把握根據資料對浸潤式光刻機進行研發？” 徐端頤沒有急著回答，他閉目思索了良久，會議室里的氣氛也隨著他的沉默而變得緊張起來。 雖然他們都是搞這行的，但半導體是個龐大的系統工程，術業有專攻，要說起光刻機的研發，還得看這位老爺子。 終于，徐端頤緩緩睜開了眼睛，他的聲音中帶著一絲沙啞：“有把握，但是……這不解決根本問題。” 此言一出，會議室里的氣氛頓時凝重起來。在座的每一位都是半導體領域的專家，他們當然明白徐端頤所說的‘根本問題’指的是什么。 表情怪異的黃令儀緊隨其后的開了口，“小卿，這份資料非常的重要，對我們國家來說，完全可以說是無價之寶。 但是……” 徐端頤接過她的話頭繼續說著，“小卿，一臺光刻機，我們進行拆分，大致分為光源系統、照明系統、投影物鏡系統、雙工件臺系統、以及光罩與晶圓傳輸系統、調平調焦系統、對準系統七個子系統。 光刻機性能的三大評價指標是分辨率、套刻精度、和產率，這是一整套極嚴苛的環境控制、整機控制以及整機軟件分析系統。 可以說光刻機的每一個子系統都在挑戰人類工程的極限。” 他惋惜的嘆了口氣，“我的意思是，只有這套圖紙，是不夠的。我們差的……不是一點半點，甚至很多領域，我們的現狀是近乎為零。 坦率的說，給我圖紙，給我一年半載，我能造出來，但沒法用，你明白嗎？” 卿云聞言并沒有什么氣餒的神色。 很正常，畢竟這群老頭老太太們，不是和他一樣都是重生的。 他們一直在爭氣，卻沒那個解氣的經歷。 徐端頤望著他，神色復雜的說著，“小卿，追光……光喊口號是沒用的。技術、工藝受限，單單突破一點，是沒用的。” 云帝聞言，眼神毫不躲閃的，淡淡的說著，“老爺子，我明白的。我雖然年輕，但也沒那么天真。” 這個過程，他太清楚了。 華國的第四代光刻機，最初便是如此。 07年我們便達到了90nm，只是光學系統拉胯，別人見你做出來了，直接不賣配件讓我們沒法量產，直到十年后在國內各參與方通力合作才解決。 雖然那是干式光刻機，對光學系統進口依賴嚴重，但當前的現狀就是就算走浸沒式，同樣也會被別人封鎖。 因為正如徐端頤所言，很多領域就是一片空白，只能依賴進口。 不過…… 云帝此時卻笑了笑，“老爺子，這就是我們今天坐在這里來商討的意義所在。 我們今天討論的綱領，就是從源頭來解決這一切的。” 說罷，他又打開了投影儀。 此時的幕布上面，光刻機器七大子系統赫然出現在PPT中，甚至每個子系統又拆分成不同的細分系統。 上面的綠色標明了哪些部件是可以國產的，而黃色部分則是哪些部件是現有技術下可以解決的，如光源，以前沒有，是國內沒人造光刻機，現在有人要造要用，自然是可以解決的。 畢竟，論到玩激光，華國才是祖宗。 甚至，單從光源來說，成創天院士的研發的KBBF晶體可以反向卡歐美的脖子，沒有這玩意兒，根本就沒有EUV光刻機。 而這個晶體，成創天院士以一己之力硬生生的卡了歐美15年的脖子。 眾大佬也知道這種情況。 一張碩大的圖片，讓眾大佬很是無語。 “你小子真的是為難我們這些老頭子哦！” 即使是在投影幕布上，那密密麻麻的，字跟螞蟻大小也差不多，讓他們叫苦不迭，紛紛想要起身去前面拿著放大鏡仔細看著。 蕭雅適時的將各系統詳細分解圖在會議室里散發著。 上面的字體斗大斗大的，倒是讓老頭老太太們舒服了不少。 而年紀最大的王守武等人，旁邊也專門有國安的人員坐在一邊替他們念著。 又是十來分鐘過去，一眾大佬紛紛放下了手里的資料以及……手里的放大鏡。 不過望著上面幾乎比例可以達到70的白色區域，都是搖頭苦笑著。 差的太多。 重燃2003 第五十二章 追光行動(2)
會議室的門緊緊的關閉著，將外界的喧囂隔絕，只留下室內的沉靜和緊張氣氛。 國安和軍方的人員分列兩旁，面無表情，仿佛是這緊張氣氛中的冷靜注腳。 卿云站在會議室前端，環視了一圈留下的大佬們，他知道，這些華國半導體產業的領軍人物，每一位都有著不凡的見識和膽識。 他也很清楚，接下來自己所要說的話，將會對在座的每一個人，甚至對整個華國半導體產業產生深遠的影響。 云帝準備揭開即將到來的幾年大戲的序幕。 卿云輕聲開口，聲音在靜謐的會議室中清晰可聞， “諸位前輩，接下來我們要討論的內容，關系到華國半導體產業的未來，也關系到我們每個人的責任與使命。” 他頓了頓，繼續說道：“在此之前，我必須確保所有的信息安全，這也是國安部門介入的原因。 接下來的討論，每一句話都具有極高的保密性，不允許有任何泄露的可能。” 眾人面面相覷后，‘大王先生’王守武微微頷首，表示理解，“小卿，你放心，我們這些老骨頭也是經過風浪的，知道輕重。” 黃令儀也開口道，“保密我們是懂的，你就直說吧，到底是什么樣的計劃，需要如此慎重其事。” 卿云點了點頭，他的眼神陡然間變得堅定起來，從蕭雅遞過來的文件袋里抽出一份文件，而后幾名國安的人員也同時將一個文件袋放在了各位大佬的桌上。 對卿云這種先聲奪人的舉措，嚴曉浪的心中本有些不忿。 其實，任何人在未經提前告知的情況下遭遇這種突如其來的、帶有強制性的保密措施，內心都難免有所抵觸。 這是人趨利避害的天性使然。 況且，曾作為燕京集成電路設計中心總工程師，主持過了國家第三級集成電路CAD系統的國家攻關任務，現任之江大學電氣工學院院長、超大規模集成電路設計研究所所長、SOC交叉研究中心主任的嚴曉浪，對這個模式并不陌生。 他很清楚，一旦組織上采用這種模式，就意味著一個超大的麻煩等著解決。 然而，當他的目光落在桌上文件的封面上，看到那標明的保密等級，心情頓時平復下來。 沒辦法，文件封面上標注的保密等級是“絕密”。 在他們這個級別的大佬日常接觸的文件中，保密文件是常態，而“絕密”等級的文件也并非罕見。 但當“絕密”后面緊跟著“核心”兩個字時，情況就非常不同尋常了。 而最令人倒吸一口涼氣的是，文件封面上還赫然印著“永不解禁”四個大字。 這在任何保密文件中都是極為罕見的，意味著這些文件直到銷毀，都不會有解密的一天。 所有人心中的不忿瞬間消散，甚至在沒有得到卿云明確的指令前，所有人都不敢輕易拆封文件袋。 這種級別的文件，他們明白，接下來的每一個動作都將承擔著重大的責任。 等蕭雅完成了對會議室的最后檢查，沖著卿云點頭示意沒有問題后，卿云這才清了清嗓子，開始介紹起來， “諸位前輩，現在諸位看到的，是與我恩師程進教授同時遭遇不幸的林本堅先生，在機場隨身攜帶的資料。 這些文件中，包含了浸沒式光刻技術的部分技術資料。” 卿云的話，并不多，但此話一出，會議室里的空氣似乎凝固了，所有人全部懵了圈。 他們面面相覷，幾乎不敢相信自己的耳朵。 浸沒式光刻技術，對于業界，并不是什么秘密，本身就是以會議論文形式提出來的。 大家都知道原理。 但是怎么實現，這就是林本堅和ASML的商業秘密了。 而這套殘缺的技術資料的出現，無疑將對華國半導體產業帶來翻天覆地的變化。 這…… 沒人管這些東西是怎么來的，也沒人管什么知識產權不知識產權的，會場里的大佬們一個個都呼吸粗重了起來，眼睛里全部綠油油的望著卿云。 等待文件開啟的命令。 卿云看著眾人震驚的表情，微微一笑，繼續說道，“現在給大家兩個小時的時間閱讀和理解這些資料。 同時，實在不好意思，從現在開始，諸位前輩的一舉一動都必須在國安及軍方的共同監控下。” 各位大佬完全不鳥他后面那句警告，這些規矩他們懂得，只會嫌這小子太呱噪了。 他們甚至比卿云更清楚，眼前的資料，按照國安的方式，每個人拿到的都是不同的。 在某個或者某幾個關鍵地方，一定會出現一些小錯誤，如此，將來一旦出現了泄露，國安能迅速的鎖定源頭。 他們一個個迫不及待地打開文件袋，開始仔細閱讀起來。 這些資料的價值，他們比任何人都清楚，這不僅是技術的突破，更是華國半導體產業發展的一個歷史性機遇。 會議室里響起了翻閱紙張的聲音，每一位在場的人都全神貫注地投入到了對這份珍貴資料的學習中。 他們知道，這可能是他們一生中最重要的兩個小時，每一個字、每一張圖、每一個公式，都可能成為改變未來的關鍵。 時間一分一秒地過去，120分鐘的閱讀時間，很快便走到了盡頭。 卿云輕聲提醒了一句“時間到了”，國安人員立刻走上前來，對資料進行了回收。 眼前的資料不過是個概述，而正式的資料，進組后才提供，這是規矩，大佬們都懂得起，自然不會有什么異議。 但是他們依然戀戀不舍地望著被收起的文件袋，目光中滿是復雜情緒。 黎光楠他們知道，這些資料所蘊含的價值，遠不止眼前所見的這些。 而后，他們的目光不約而同地轉向了臺前的少年，等待著他的下一步發言。 在這群人中，大王先生資歷最老，江湖地位也最高。 84歲的他首先開口，聲音中透露出一絲亢奮， “小卿，有話直說，要怎么安排，怎么進行，你直接吩咐就是了。” 大王先生的這句話，相當于代表在場的所有人進行了表態。 卿云心中感激，他對著所有大佬鞠了一躬，然后看向了那位主持了前兩代光刻機研發的徐端頤。 “徐老，”卿云的目光中帶著一絲期待，“您是浸淫此道多年的老前輩，我想請問您，有沒有把握根據資料對浸潤式光刻機進行研發？” 徐端頤沒有急著回答，他閉目思索了良久，會議室里的氣氛也隨著他的沉默而變得緊張起來。 雖然他們都是搞這行的，但半導體是個龐大的系統工程，術業有專攻，要說起光刻機的研發，還得看這位老爺子。 終于，徐端頤緩緩睜開了眼睛，他的聲音中帶著一絲沙啞：“有把握，但是……這不解決根本問題。” 此言一出，會議室里的氣氛頓時凝重起來。在座的每一位都是半導體領域的專家，他們當然明白徐端頤所說的‘根本問題’指的是什么。 表情怪異的黃令儀緊隨其后的開了口，“小卿，這份資料非常的重要，對我們國家來說，完全可以說是無價之寶。 但是……” 徐端頤接過她的話頭繼續說著，“小卿，一臺光刻機，我們進行拆分，大致分為光源系統、照明系統、投影物鏡系統、雙工件臺系統、以及光罩與晶圓傳輸系統、調平調焦系統、對準系統七個子系統。 光刻機性能的三大評價指標是分辨率、套刻精度、和產率，這是一整套極嚴苛的環境控制、整機控制以及整機軟件分析系統。 可以說光刻機的每一個子系統都在挑戰人類工程的極限。” 他惋惜的嘆了口氣，“我的意思是，只有這套圖紙，是不夠的。我們差的……不是一點半點，甚至很多領域，我們的現狀是近乎為零。 坦率的說，給我圖紙，給我一年半載，我能造出來，但沒法用，你明白嗎？” 卿云聞言并沒有什么氣餒的神色。 很正常，畢竟這群老頭老太太們，不是和他一樣都是重生的。 他們一直在爭氣，卻沒那個解氣的經歷。 徐端頤望著他，神色復雜的說著，“小卿，追光……光喊口號是沒用的。技術、工藝受限，單單突破一點，是沒用的。” 云帝聞言，眼神毫不躲閃的，淡淡的說著，“老爺子，我明白的。我雖然年輕，但也沒那么天真。” 這個過程，他太清楚了。 華國的第四代光刻機，最初便是如此。 07年我們便達到了90nm，只是光學系統拉胯，別人見你做出來了，直接不賣配件讓我們沒法量產，直到十年后在國內各參與方通力合作才解決。 雖然那是干式光刻機，對光學系統進口依賴嚴重，但當前的現狀就是就算走浸沒式，同樣也會被別人封鎖。 因為正如徐端頤所言，很多領域就是一片空白，只能依賴進口。 不過…… 云帝此時卻笑了笑，“老爺子，這就是我們今天坐在這里來商討的意義所在。 我們今天討論的綱領，就是從源頭來解決這一切的。” 說罷，他又打開了投影儀。 此時的幕布上面，光刻機器七大子系統赫然出現在PPT中，甚至每個子系統又拆分成不同的細分系統。 上面的綠色標明了哪些部件是可以國產的，而黃色部分則是哪些部件是現有技術下可以解決的，如光源，以前沒有，是國內沒人造光刻機，現在有人要造要用，自然是可以解決的。 畢竟，論到玩激光，華國才是祖宗。 甚至，單從光源來說，成創天院士的研發的KBBF晶體可以反向卡歐美的脖子，沒有這玩意兒，根本就沒有EUV光刻機。 而這個晶體，成創天院士以一己之力硬生生的卡了歐美15年的脖子。 眾大佬也知道這種情況。 一張碩大的圖片，讓眾大佬很是無語。 “你小子真的是為難我們這些老頭子哦！” 即使是在投影幕布上，那密密麻麻的，字跟螞蟻大小也差不多，讓他們叫苦不迭，紛紛想要起身去前面拿著放大鏡仔細看著。 蕭雅適時的將各系統詳細分解圖在會議室里散發著。 上面的字體斗大斗大的，倒是讓老頭老太太們舒服了不少。 而年紀最大的王守武等人，旁邊也專門有國安的人員坐在一邊替他們念著。 又是十來分鐘過去，一眾大佬紛紛放下了手里的資料以及……手里的放大鏡。 不過望著上面幾乎比例可以達到70的白色區域，都是搖頭苦笑著。 差的太多。 重燃2003 第五十二章 追光行動(2)
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