第631章 全村的希望
更新時間:2021-07-13 作者:三分糊涂
1991從芯開始 第631章 全村的希望
蘇遠山突然覺得嘴皮有點干，沉默許久后，他抿著嘴唇，輕聲道。 “我得承認，我這段時間確實對光刻機領域關注得少了一點。” 曲慧此時已經放下書，望著他，正色道：“你不止是少一點，光刻機是不能放棄的。” “是。”蘇遠山點頭，再次沉默幾秒后望向鄭振川：“鄭叔，就算德遠采購明年的Krf光刻機，能夠讓你們擁有競爭力嗎？” “或者說，你們宏芯真的到了必須得靠德遠采購才能活下去的時候了？” “不……當然不是。”鄭振川馬上搖頭：“如果德遠能夠采購我們的光刻機，國內一幫人肯定會閉嘴的，更何況……我們還有雙工件臺呢。” 蘇遠山微微點頭。 這個理由他認可。 從規模上，德遠當然比不過intel，德儀，NEC這種老牌半導體企業，甚至連島上的聯電都比不過。 但從制程工藝和技術實力來看，德遠的崛起確實帶著濃濃的遠芯印記，短短四年時間不到，就追上了制程領域的第一梯隊，堪稱半導體行業的奇跡。 而從德遠上個季度公布的財報來看，德遠也躋身進了十大晶圓廠。甚至因為并沒有涉足目前正受沖擊的DRAM領域，還一舉超過了NEC和德儀，一舉進入了前六。 如果能拿到德遠的“認可”，顯然對宏芯的光刻機是有正面宣傳意義的。 沉默著，蘇遠山突然望向曲慧。 “曲慧姐，你們那邊的定位精度在一年內能提到多少？有計劃表沒有？” ——工件臺的精度與光刻機的制程工藝是兩碼事，一般來說，0.5微米制程，搭配糾偏系統的話，需要的套刻精度是0.1微米以下。 套刻，指的是，在依次曝光完硅晶片的所有field后，更換掩膜進行重復曝光，這兩次曝光的過程中的掩膜，需要精確地套疊在一起，因此被稱為套刻。 而眾所周知，工件臺是光刻機工作時所有工序的平臺，因此套刻精度又受工件臺定位精度的直接影響。 在引入誤差后，雙工件臺的精度起碼還得提升個10倍，達到0.05微米的精度以上，才能真正用在0.25微米的制程工藝上——這才是遠芯需要的光刻機。 而后世的工件臺，定位精度甚至能夠達到2納米以下！加上多重曝光，理論上甚至能實現2納米的制程。 現在曲慧說定位精度在0.5微米，那意思就是首都精科那邊只能算是造出了雙工件臺，要真正運用在光刻機上，還需要進行不斷的調試。 蘇遠山對機械不甚了解，他只知道，如果零部件誤差在允許范圍內的話，那么精度的提升就只能依靠糾偏系統了。 糾偏系統，顧名思義，就是糾正偏移的系統。它的工作原理說簡單也簡單，就是搭配光柵傳感器，把精度控制、調整在可以接受的范圍內。但說復雜也復雜，因為它對運動控制模塊的要求相當高。 曲慧合上書，回答道：“計劃當然是有計劃，我們接下來會一直繼續優化糾偏系統和運動控制模塊，但現在沒辦法告訴你準確的進度。” 蘇遠山慢慢點頭，突然問道：“首都高科對雙工件臺的出口計劃是什么？” 鄭振川和曲慧一對視，兩人同時沉默。 片刻后，鄭振川輕聲道：“小山，我們被國外掐脖子掐得夠厲害了，我認為我們的雙工件臺不需要出口。” 曲慧同樣點頭：“我也認為。” 蘇遠山長長地嘆了一口氣。 直到現在，他才終于弄明白了這二人的真正來意。 曲慧的想法，大概是她更多從要之前被掐脖子掐得狠了，現在終于輪到自己領先，要“爽一把”的角度來考慮。 而鄭振川，則是考慮到雙工件臺所帶來的效率提升，必定會賦予宏芯光刻機強大的競爭力——說白了，就是鄭振川把國產光刻機的未來押在了雙工件臺上。 但顯然……首都精科那邊的想法不一樣。 畢竟這是產品，而不是技術。 是，產品是存在著被山寨的可能，但別忘了，有種東西叫防拆自毀裝置——這還是西方搞出來的。 一旦出口，則意味著首都精科將會擁抱更大的市場，擁有更高的平臺，甚至還極有可能用雙工件臺來換取某些領域封鎖的解除。 而世人皆知，遠芯在半導體領域內，擁有無比的前瞻和影響力。 如果遠芯能夠表明態度，那么這雙工件臺到底是被列為禁止單獨出口的設備，還是可以供貨給目前世界所有的光刻機企業……或許就能塵埃落定了。 ——這便是兩人在雙工件臺剛好完成“拼裝”，還處于保密期就來找蘇遠山的原因。 蘇遠山當然知道雙工件臺的重要性。 他而且還知道，在歷史上的4年后，ASML就會利用上雙工件臺技術。而數年后，更是依靠磁懸浮雙工件臺和浸潤式技術大殺四方，徹底把尼康佳能徹底打落塵埃。 甚至尼康的老總在后世還說過這么一句話——“你們或許能夠搞定光源，但是工件臺對你們來說，那太難了。” 當然，事實證明，他這句話錯得離譜。 曲慧見蘇遠山一直沉默，終于忍不住了：“小山，你表個態。” “我怎么表態？”蘇遠山抬起頭，眼神中全是糾結：“理智告訴我，如果首都精科能夠在一年內把雙工件臺的精度提高到可以適配最先進的制程，那么你們掌握的將是這個世界最強大的光刻機三大核心系統之一。” “如果你們愿意出口，在光刻機這種只爭朝夕的領域，你們將打敗所有的未知敵人。哪怕WA協議再牛逼，也不得不給你們額外開一條口子。最頂尖的超高精密加工廠將會為你們隨時開啟代加工的大門。” “但這樣一來，鄭叔他們將會在長時間都失去國際競爭力，最壞的結果甚至可能是徹底淪為低端。” 鄭振川張了張嘴，半響后還是只發出了一聲嘆息。 蘇遠山望著兩人，回憶起后世喪心病狂的制裁，眼中閃過一抹難以名狀的情緒：“你們都知道，遠芯目前在各個領域取得的成就，就類似于一座古舊城市里新建的幾座摩天大樓，看起來確實讓人振奮。” “但西方呢？三百年的科技發展底蘊，三次工業革命的誕生……真不是我們短短幾年，幾十年就能追上的。” “放眼望去，西方那特么的是一片金字塔啊！” “所以，萬一有一天，當燈塔國意識到他們從內心深處無法接受我們的崛起、開始喪心病狂地封鎖我們，宣布禁止我們使用燈塔國的任何技術，禁止任何西方企業與我們進行技術合作時——我們怎么辦？” 蘇遠山的“危言聳聽”讓二人齊齊一怔！ “怎么可能？”曲慧雖然對雙工件臺的態度是持獨有態度，但她依舊相信，蘇遠山口中這種所謂的“全面封鎖”、禁止“任何技術”交流與合作是不可能發生的。 鄭振川同樣如此認為。 原因很簡單，即便去年已經重新搞了WA協議，看似涉及了許多方面和許多技術。但它畢竟不是以前的八筒，在民用領域，其實口子還是有的。只要想點辦法，除非是特別高端的設備，譬如五軸數控機床這種工業母機，基本上還是能夠搞來。 再加上冷戰結束，互聯網興起，地球村，全球化等新概念層出不窮…… 所有人都相信，世界再也不會回到從前。 畢竟歷史是不會開倒車的。 見兩人臉上的不可置信，蘇遠山莫名地笑了一下。 “是不是覺得我還是冷戰思維？” 曲慧點頭：“我坦白，是有點。” “曲慧姐，別忘了，冷戰可從來不管我們的事呢！如今北方帝國倒塌，經歷過冷戰的就只剩下一個超級帝國……” “從邏輯上，還殘留著冷戰思維的不是我，而是另外一邊。” 蘇遠山目光望向西邊，沉默片刻后繼續道：“但我承認，全球化進程是不可逆的，特別是半導體行業。” “如果說，每個國家在半導體領域的核心技術是牌桌上的籌碼的話……那么一開始，我們是一點籌碼都沒有，連上桌的資格都沒。” 曲慧皺著眉，突然問道：“EDA不算籌碼？” “EDA算，但那只是入場資格。”蘇遠山望著曲慧：“曲慧姐，你忘了當初EDA分家的時候……我對你們是怎么說的了。” 曲慧立刻怔住了。 她想起了蘇遠山當初在走廊上對她，蔣萬超，以及朱健亭說的話。 ——EDA是一家扎根在國內的，世界級的、讓所有半導體企業離不開的企業。 “但光靠EDA這一片籌碼，顯然不夠。” “曲慧姐，鄭叔，我要承認我們需要積極地加入和擁抱全球化。但同樣的，我們也要保持被全面孤立的警惕——如何防止被全面孤立？顯然就是讓世界離不開我們。” “雙工件臺如果不出口，那么只有一個結果，就是逼迫其他企業奮起直追。除非我們的技術和產品，別人無法實現，否則……把它變成籌碼，我認為是今后的最優解。” 蘇遠山盯著鄭振川，輕聲道：“鄭叔，我們還沒有封鎖別人的資格。” 鄭振川再次張了張嘴。 這一次，他沉聲道：“既然你也說了，要保持被全面孤立的警惕，那我們就更不能放棄自主光刻機了——我不相信你當初支持我們光刻機國產，僅僅只是為了能夠從尼康那買到更好的。” “是，鄭叔。我當然愿意看到國產光刻機崛起，大殺四方，縱橫睥睨。但國產光刻機……必須要以競爭力的方式來崛起。而不是，由上面一紙令下強制購買來崛起——那樣，其他企業的競爭力呢？” 鄭振川便沉默了下來，又輕輕嘆了口氣。 “鄭叔，別著急。” 蘇遠山見鄭振川興意闌珊的模樣，知道不能太打擊這位把滿腔熱忱都投入了國產光刻機的老爺子，微微一笑道：“我們會和首都精科那邊商議，也會和外貿部和發改委討論一下，看能不能取得一個兩全其美的辦法。” “什么辦法？” “這就要催一催曲慧姐那邊了——如果可能，我希望在未來半年到一年之內，雙工件臺就能夠運用在光刻機上，然后給國產光刻機一年左右的時間來建立優勢，拿到訂單——只要能夠滿足0.18微米的工藝，德遠就會采購，甚至那些專門搞DRAM的企業更會爭先恐后的采購！” “然后雙工件臺出口——在國外光刻機企業的雙工件臺項目剛啟動的時候，我們就變成反過來摧毀他們技術和產業的一方了。只要我們一直保持對技術的推進，那么將變得無可替代。” “而只要工件臺實現了跨越式的進步，到時候再禁止出口，只用在國產光刻機上不好嗎？” 蘇遠山一口氣說完，便望向鄭振川。 想了想后，覺得自己還可以給鄭振川打一下氣。 “鄭叔，然后光源部分……相信我，馬上我們就能搞定Arf光源。而且我們也有了突破193nm的方案。” 聽到這里，鄭振川倏然一驚！ 他是搞光刻機的，當然知道193nm現在成了一個被行業內集體頭疼的問題——要知道，光源的技術一直都領先于光刻機整機本身的技術。而光源的理論，更是早在光源造出來之前的數年、數十年就奠定了下來。 但真當實現了193nm的Arf光源，開始研究下一代光源后，大家才發現這難度不是一般的大。 ——都逼得燈塔國那邊搞EUV聯盟，直接跳過152，走極紫外路線了，你說難度大不大？ 蘇遠山現在告訴他，有突破193nm的方案！ 那豈不是…… “你說的是真的？”鄭振川盯著蘇遠山：“你別騙我，我認識一大幫搞光源的——我回頭就問老趙去。” 蘇遠山哭笑不得：“你問他也沒用，保密的。” “鄭叔，所以別著急。雙工件臺，如果只用在國產光刻機上，只是算是錦上添花。當我們真正超越193nm的時候，才是國產光刻機擁有核心競爭力的時候。” 鄭振川半信半疑地看著蘇遠山，最終還是點了點頭。 隨后，他便和蘇遠山一起望向曲慧。 感受到兩人的目光，曲慧突然覺得這兩人的視線重逾千斤。 “意思是，全部的壓力都落在首都精科身上了？” “不，不是壓力。”蘇遠山微微一笑。 “是希望。” 1991從芯開始 第631章 全村的希望
蘇遠山突然覺得嘴皮有點干，沉默許久后，他抿著嘴唇，輕聲道。 “我得承認，我這段時間確實對光刻機領域關注得少了一點。” 曲慧此時已經放下書，望著他，正色道：“你不止是少一點，光刻機是不能放棄的。” “是。”蘇遠山點頭，再次沉默幾秒后望向鄭振川：“鄭叔，就算德遠采購明年的Krf光刻機，能夠讓你們擁有競爭力嗎？” “或者說，你們宏芯真的到了必須得靠德遠采購才能活下去的時候了？” “不……當然不是。”鄭振川馬上搖頭：“如果德遠能夠采購我們的光刻機，國內一幫人肯定會閉嘴的，更何況……我們還有雙工件臺呢。” 蘇遠山微微點頭。 這個理由他認可。 從規模上，德遠當然比不過intel，德儀，NEC這種老牌半導體企業，甚至連島上的聯電都比不過。 但從制程工藝和技術實力來看，德遠的崛起確實帶著濃濃的遠芯印記，短短四年時間不到，就追上了制程領域的第一梯隊，堪稱半導體行業的奇跡。 而從德遠上個季度公布的財報來看，德遠也躋身進了十大晶圓廠。甚至因為并沒有涉足目前正受沖擊的DRAM領域，還一舉超過了NEC和德儀，一舉進入了前六。 如果能拿到德遠的“認可”，顯然對宏芯的光刻機是有正面宣傳意義的。 沉默著，蘇遠山突然望向曲慧。 “曲慧姐，你們那邊的定位精度在一年內能提到多少？有計劃表沒有？” ——工件臺的精度與光刻機的制程工藝是兩碼事，一般來說，0.5微米制程，搭配糾偏系統的話，需要的套刻精度是0.1微米以下。 套刻，指的是，在依次曝光完硅晶片的所有field后，更換掩膜進行重復曝光，這兩次曝光的過程中的掩膜，需要精確地套疊在一起，因此被稱為套刻。 而眾所周知，工件臺是光刻機工作時所有工序的平臺，因此套刻精度又受工件臺定位精度的直接影響。 在引入誤差后，雙工件臺的精度起碼還得提升個10倍，達到0.05微米的精度以上，才能真正用在0.25微米的制程工藝上——這才是遠芯需要的光刻機。 而后世的工件臺，定位精度甚至能夠達到2納米以下！加上多重曝光，理論上甚至能實現2納米的制程。 現在曲慧說定位精度在0.5微米，那意思就是首都精科那邊只能算是造出了雙工件臺，要真正運用在光刻機上，還需要進行不斷的調試。 蘇遠山對機械不甚了解，他只知道，如果零部件誤差在允許范圍內的話，那么精度的提升就只能依靠糾偏系統了。 糾偏系統，顧名思義，就是糾正偏移的系統。它的工作原理說簡單也簡單，就是搭配光柵傳感器，把精度控制、調整在可以接受的范圍內。但說復雜也復雜，因為它對運動控制模塊的要求相當高。 曲慧合上書，回答道：“計劃當然是有計劃，我們接下來會一直繼續優化糾偏系統和運動控制模塊，但現在沒辦法告訴你準確的進度。” 蘇遠山慢慢點頭，突然問道：“首都高科對雙工件臺的出口計劃是什么？” 鄭振川和曲慧一對視，兩人同時沉默。 片刻后，鄭振川輕聲道：“小山，我們被國外掐脖子掐得夠厲害了，我認為我們的雙工件臺不需要出口。” 曲慧同樣點頭：“我也認為。” 蘇遠山長長地嘆了一口氣。 直到現在，他才終于弄明白了這二人的真正來意。 曲慧的想法，大概是她更多從要之前被掐脖子掐得狠了，現在終于輪到自己領先，要“爽一把”的角度來考慮。 而鄭振川，則是考慮到雙工件臺所帶來的效率提升，必定會賦予宏芯光刻機強大的競爭力——說白了，就是鄭振川把國產光刻機的未來押在了雙工件臺上。 但顯然……首都精科那邊的想法不一樣。 畢竟這是產品，而不是技術。 是，產品是存在著被山寨的可能，但別忘了，有種東西叫防拆自毀裝置——這還是西方搞出來的。 一旦出口，則意味著首都精科將會擁抱更大的市場，擁有更高的平臺，甚至還極有可能用雙工件臺來換取某些領域封鎖的解除。 而世人皆知，遠芯在半導體領域內，擁有無比的前瞻和影響力。 如果遠芯能夠表明態度，那么這雙工件臺到底是被列為禁止單獨出口的設備，還是可以供貨給目前世界所有的光刻機企業……或許就能塵埃落定了。 ——這便是兩人在雙工件臺剛好完成“拼裝”，還處于保密期就來找蘇遠山的原因。 蘇遠山當然知道雙工件臺的重要性。 他而且還知道，在歷史上的4年后，ASML就會利用上雙工件臺技術。而數年后，更是依靠磁懸浮雙工件臺和浸潤式技術大殺四方，徹底把尼康佳能徹底打落塵埃。 甚至尼康的老總在后世還說過這么一句話——“你們或許能夠搞定光源，但是工件臺對你們來說，那太難了。” 當然，事實證明，他這句話錯得離譜。 曲慧見蘇遠山一直沉默，終于忍不住了：“小山，你表個態。” “我怎么表態？”蘇遠山抬起頭，眼神中全是糾結：“理智告訴我，如果首都精科能夠在一年內把雙工件臺的精度提高到可以適配最先進的制程，那么你們掌握的將是這個世界最強大的光刻機三大核心系統之一。” “如果你們愿意出口，在光刻機這種只爭朝夕的領域，你們將打敗所有的未知敵人。哪怕WA協議再牛逼，也不得不給你們額外開一條口子。最頂尖的超高精密加工廠將會為你們隨時開啟代加工的大門。” “但這樣一來，鄭叔他們將會在長時間都失去國際競爭力，最壞的結果甚至可能是徹底淪為低端。” 鄭振川張了張嘴，半響后還是只發出了一聲嘆息。 蘇遠山望著兩人，回憶起后世喪心病狂的制裁，眼中閃過一抹難以名狀的情緒：“你們都知道，遠芯目前在各個領域取得的成就，就類似于一座古舊城市里新建的幾座摩天大樓，看起來確實讓人振奮。” “但西方呢？三百年的科技發展底蘊，三次工業革命的誕生……真不是我們短短幾年，幾十年就能追上的。” “放眼望去，西方那特么的是一片金字塔啊！” “所以，萬一有一天，當燈塔國意識到他們從內心深處無法接受我們的崛起、開始喪心病狂地封鎖我們，宣布禁止我們使用燈塔國的任何技術，禁止任何西方企業與我們進行技術合作時——我們怎么辦？” 蘇遠山的“危言聳聽”讓二人齊齊一怔！ “怎么可能？”曲慧雖然對雙工件臺的態度是持獨有態度，但她依舊相信，蘇遠山口中這種所謂的“全面封鎖”、禁止“任何技術”交流與合作是不可能發生的。 鄭振川同樣如此認為。 原因很簡單，即便去年已經重新搞了WA協議，看似涉及了許多方面和許多技術。但它畢竟不是以前的八筒，在民用領域，其實口子還是有的。只要想點辦法，除非是特別高端的設備，譬如五軸數控機床這種工業母機，基本上還是能夠搞來。 再加上冷戰結束，互聯網興起，地球村，全球化等新概念層出不窮…… 所有人都相信，世界再也不會回到從前。 畢竟歷史是不會開倒車的。 見兩人臉上的不可置信，蘇遠山莫名地笑了一下。 “是不是覺得我還是冷戰思維？” 曲慧點頭：“我坦白，是有點。” “曲慧姐，別忘了，冷戰可從來不管我們的事呢！如今北方帝國倒塌，經歷過冷戰的就只剩下一個超級帝國……” “從邏輯上，還殘留著冷戰思維的不是我，而是另外一邊。” 蘇遠山目光望向西邊，沉默片刻后繼續道：“但我承認，全球化進程是不可逆的，特別是半導體行業。” “如果說，每個國家在半導體領域的核心技術是牌桌上的籌碼的話……那么一開始，我們是一點籌碼都沒有，連上桌的資格都沒。” 曲慧皺著眉，突然問道：“EDA不算籌碼？” “EDA算，但那只是入場資格。”蘇遠山望著曲慧：“曲慧姐，你忘了當初EDA分家的時候……我對你們是怎么說的了。” 曲慧立刻怔住了。 她想起了蘇遠山當初在走廊上對她，蔣萬超，以及朱健亭說的話。 ——EDA是一家扎根在國內的，世界級的、讓所有半導體企業離不開的企業。 “但光靠EDA這一片籌碼，顯然不夠。” “曲慧姐，鄭叔，我要承認我們需要積極地加入和擁抱全球化。但同樣的，我們也要保持被全面孤立的警惕——如何防止被全面孤立？顯然就是讓世界離不開我們。” “雙工件臺如果不出口，那么只有一個結果，就是逼迫其他企業奮起直追。除非我們的技術和產品，別人無法實現，否則……把它變成籌碼，我認為是今后的最優解。” 蘇遠山盯著鄭振川，輕聲道：“鄭叔，我們還沒有封鎖別人的資格。” 鄭振川再次張了張嘴。 這一次，他沉聲道：“既然你也說了，要保持被全面孤立的警惕，那我們就更不能放棄自主光刻機了——我不相信你當初支持我們光刻機國產，僅僅只是為了能夠從尼康那買到更好的。” “是，鄭叔。我當然愿意看到國產光刻機崛起，大殺四方，縱橫睥睨。但國產光刻機……必須要以競爭力的方式來崛起。而不是，由上面一紙令下強制購買來崛起——那樣，其他企業的競爭力呢？” 鄭振川便沉默了下來，又輕輕嘆了口氣。 “鄭叔，別著急。” 蘇遠山見鄭振川興意闌珊的模樣，知道不能太打擊這位把滿腔熱忱都投入了國產光刻機的老爺子，微微一笑道：“我們會和首都精科那邊商議，也會和外貿部和發改委討論一下，看能不能取得一個兩全其美的辦法。” “什么辦法？” “這就要催一催曲慧姐那邊了——如果可能，我希望在未來半年到一年之內，雙工件臺就能夠運用在光刻機上，然后給國產光刻機一年左右的時間來建立優勢，拿到訂單——只要能夠滿足0.18微米的工藝，德遠就會采購，甚至那些專門搞DRAM的企業更會爭先恐后的采購！” “然后雙工件臺出口——在國外光刻機企業的雙工件臺項目剛啟動的時候，我們就變成反過來摧毀他們技術和產業的一方了。只要我們一直保持對技術的推進，那么將變得無可替代。” “而只要工件臺實現了跨越式的進步，到時候再禁止出口，只用在國產光刻機上不好嗎？” 蘇遠山一口氣說完，便望向鄭振川。 想了想后，覺得自己還可以給鄭振川打一下氣。 “鄭叔，然后光源部分……相信我，馬上我們就能搞定Arf光源。而且我們也有了突破193nm的方案。” 聽到這里，鄭振川倏然一驚！ 他是搞光刻機的，當然知道193nm現在成了一個被行業內集體頭疼的問題——要知道，光源的技術一直都領先于光刻機整機本身的技術。而光源的理論，更是早在光源造出來之前的數年、數十年就奠定了下來。 但真當實現了193nm的Arf光源，開始研究下一代光源后，大家才發現這難度不是一般的大。 ——都逼得燈塔國那邊搞EUV聯盟，直接跳過152，走極紫外路線了，你說難度大不大？ 蘇遠山現在告訴他，有突破193nm的方案！ 那豈不是…… “你說的是真的？”鄭振川盯著蘇遠山：“你別騙我，我認識一大幫搞光源的——我回頭就問老趙去。” 蘇遠山哭笑不得：“你問他也沒用，保密的。” “鄭叔，所以別著急。雙工件臺，如果只用在國產光刻機上，只是算是錦上添花。當我們真正超越193nm的時候，才是國產光刻機擁有核心競爭力的時候。” 鄭振川半信半疑地看著蘇遠山，最終還是點了點頭。 隨后，他便和蘇遠山一起望向曲慧。 感受到兩人的目光，曲慧突然覺得這兩人的視線重逾千斤。 “意思是，全部的壓力都落在首都精科身上了？” “不，不是壓力。”蘇遠山微微一笑。 “是希望。” 1991從芯開始 第631章 全村的希望
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