第619章 下一代光源的抉擇
更新時間:2021-07-06 作者:三分糊涂
1991從芯開始 第619章 下一代光源的抉擇
氣氛在這一刻驟然冷了下來。 文森蒂今年已年過六旬，頭發和胡須都已經花白，在短暫的驚愕后，怒意瞬間升起。 他站起身，雙手支撐在桌沿上，怒目望著史坦利。 “我可以認為你這是在對德州儀器進行指控嗎？” 史坦利毫不退縮：“我不是對你進行指控，我只是坦言一個事實。那就是，你們為大陸的遠芯提供了多少幫助，你們是明白的！” “扯淡吧你！”卡莉的火氣騰就上來了：“星海成立在遠芯之后，你說我們提供幫助？” 史坦利冷冷一笑：“星海的最大股東是誰？” “是星海基金。”沒等卡莉回答，史坦利繼續道：“星海基金的最大股東是誰？” “星海的大股東是誰不重要。”卡莉瞪著史坦利，一字一句道：“我只告訴你，星海科技是一家總部位于硅谷，并遵守本國法律，其董事長以及超過四分之三的員工都是本國公民，其余人也是擁有合法永久居住權的硅谷企業。” “我們與遠芯科技的所有合作，都是在互利互惠的基礎上，并遵守相關的法律規定所進行的合作，我希望你明白這一點。” 卡莉說完后便騰地起身，干脆利索地走出辦公室。 有了卡莉的這一通火，文森蒂反而冷靜了下來。 他皺著眉，沉默凝視了這位能源部中以強勢著稱，還明顯帶著冷戰思維的技術官僚幾秒后慢慢道：“史坦利先生，你任意夸大的做派，很有克格勃的風采。” 史坦利便聳了聳肩，表示自己根本不介意這個評價。 這時，張汝金突然悠悠道。 “史坦利先生，我想請教一個問題。” “眾所周知，銅的電阻小于鋁，因此可以在更小的面積上承載更大的電流。而在大規模集成電路中，如果用銅導線工藝替換如今的鋁導線，能達到更密集的晶體管設計，提高芯片效能。同時，銅的抗電子遷移能力也優于鋁，因此，處理器的可靠性也會得到極大的提高。” 張汝金知道對方是技術官僚，對這些門兒清，因此并沒有刻意解釋，而是直接問道：“德州儀器實現了銅導線工藝，閣下認為，該工藝應可以授權給我們嗎？” 史坦利先是怔了一下，隨即便是一笑，然后又望向文森蒂：“你們實現了銅導線工藝？” 文森蒂理都懶得理他。 張汝金微微一笑：“我們德遠半導體，實現了目前最優秀的銅導線工藝，比IBM的優秀許多。” 史坦利的笑瞬間凝固。 “而且，我們愿意授權給德儀。” EUV聯盟的成立，無疑表明了能源部或者說政府的態度。那就是，技術一定要掌握在自己手里。 蘇遠山不一樣，他就是要要惡心一下那幫人。 更何況，相比遠芯接下來的浸潤式技術，銅導線工藝遠談不上核心。 銅導線工藝只能讓德遠領先一時，再加上德遠現在的產能主要還是集中在YX架構以及閃存上，對于銅導線需求最急切的X86處理器反而因為市場緣故并沒有產能，發揮不了太大的作用。 因此，授權給德儀，讓德儀和星海聯手，一邊惡心AI兩家，同時再踩一腳島上那兩家想爬起來的代工廠，是怎么看怎么劃算的事。 事實上，因為遠芯長期不懈地堅持挖人，島上的工程師已經流失了很多。以至于德遠科技園這邊的小區都被人稱為小TW——小區里一大半都是島上的工程師。 蘇遠山從首都直飛滬市。 “梁博士，晶圓廠制程工藝我是純粹的外行。” 蘇遠山和梁夢松走在科技園的葡萄長廊下——這是張汝金見遠芯這邊葡萄路搞得挺好，刻意也copy了一個，再加上可以在葡萄架下聽到牛郎織女說話的傳說，對島上這幫工程師的安撫效果意想不到的好。 蘇遠山找了個陰涼的地方和梁夢松一道坐下，呵呵笑道：“所以我就不班門弄斧了。” “哪里，山總的全領域精通，是世人皆知的。”梁夢松說得很坦然：“我們還是希望山總能夠指出方向。” “真不敢——不過如果說方向的話，那就只有一條。” “德遠的制程優先，不用考慮任何其他因素的優先。就算今后上市了，要考慮到這樣那樣，也要堅定不移地這么走——股票愛買買，不買拉倒，大不了遠芯回購。” 梁夢松舔了一下嘴唇，身上升起一股燥熱。 ——廠里都說自己是個技術狂人，但自己這點狂，在山總面前，還真的只算小兒科了。 “山總，這可是你說的。”梁夢松笑了起來：“制程推進很花錢的。” “花錢怕什么？只要在關鍵制程上領先一步，一筆單子就賺回來了。晶圓廠是個贏家通吃的行業，誰掌握了先進制程，誰就掌握了高端芯片代工的定價權。” 梁夢松點頭，他當然清楚，今后的制程推進會越來越難，投入需求也會越來越大——當然回報也肯定足夠豐厚。 但遠芯還有個問題。 “山總，那要是遇到光刻機禁售……怎么辦？” 說到光刻機，蘇遠山馬上便沉默了下來。 EUV已經如歷史軌跡一樣成立——ASML這個荷蘭小公司，在簽下了幾乎是賣身契之后終于得以進入了EUV聯盟。 可以想象，在接下來的數年內，ASML將會迅速從技術上同時對尼康佳能進行追趕，并如歷史軌跡一般完成EUV的技術構想。 但歷史軌跡又不一樣的是，ASML完成對尼康佳能超越的關鍵團隊，目前在蘇遠山手上。 “只要國產光刻機仍然在追趕，禁售就不會發生。”蘇遠山抿著嘴，沉默地望向遠處的一棟大樓——那里便是林本堅和趙凱東的聯合團隊所在的實驗室。 “而且我們一直都與多方的光刻機企業有技術支持和合作，這種交錯的關系之下，除非德遠受到了明確的針對，否則不會發生。” 梁夢松不擅長這些“大棋”，他只需要知道，蘇遠山說不會，那他就不用擔心了。 而且德遠目前也確實是尼康的友好客戶，在去年WA協定簽署后，國內半導體產業都風聲鶴唳了許久，尼康為此還特意安排了工期……后面證明，霓國方面除了加強了檢查之外，并沒有干涉德遠的訂單。 “總之走著看，我們技術越有優勢，就越有討價還價的本錢。”說著蘇遠山站起身，朝著前方的實驗室走去。 “林叔，趙叔。” 蘇遠山見兩人同時站在門口，連忙上前握手，梁夢松也上前打了招呼。 見到跟在蘇遠山身后的梁夢松，林本堅倒沒什么，趙凱東則是微怔了一下——此時張汝金不在，按照規矩，負責接待陪同蘇遠山的顯然應該是德遠的二把手來…… 按照職位算，梁夢松只能排到德遠的第五。 這架勢，看來蘇遠山是真鐵了心的要全力推制程突破了。 在接待室落座后，蘇遠山簡單問了一下目前的進度——在光源領域，因為林本堅的加入，趙凱東團隊進展得很快，他們即將完成193nm的準分子激光光源技術。 雖然比起國外同行落后了差不多一年多，但好歹算是追上了。而且就現有的技術和理論來看，193nm將會成為很長一段時間內都無法突破的光源。否則燈塔國那邊也不會成立EUV聯盟，找尋新的出路了。 當然，對于如何跨越193nm，除了EUV之外，也有其他的方案。譬如尼康和SVG就在準備攻克157nm的HeF2激光，以及電子束投射(EPL)，離子投射(IPL)、甚至X光等等…… 總之，就是解決的辦法一籮筐，放眼望去全是路。 但具體哪一條是真正的正道，誰也不知道。 嗯，只有蘇遠山一個人知道。 因為這些方案，都敗給了眼前這個樂呵呵的老爺子。 “林叔，趙叔，193nm之后你們的想法是什么？”坐到沙發上，蘇遠山端起茶杯抿了一口。 趙凱東和林本堅對視了一眼，隨后笑著道：“193nm看樣子都要停留很久，你這么著急？” “我本來是不著急的。”蘇遠山很坦白：“主要是老美那邊搞EUV，搞得我有點心慌。” 趙凱東便笑著搖了搖頭：“雖然說光源要比光刻機領先很多，但193nm的光源現在都尚未用在光刻機上，你心慌也沒用。” “至于說下一代光源，其實我和老林并不十分看好157nm，因為HeF2激光可以說要完全推翻現有的光路系統，非但物鏡要重新搞，光刻膠也要重新研制……最主要的是，波長步進提升不大，且投入產出比太高了。” “EUV，聽起來很不錯，有點下一代光源的意思。但你看EUV聯盟那架勢……就不是我們這個小作坊能夠完成的。” 蘇遠山便笑道：“有您二位在，咱們這實驗室可不是小作坊。” “呵呵，不管是不是，但設計師不是有句話嗎？摸著石頭過河……既然前面有人趟路了，那我們也干脆摸著石頭過河就行了。”趙凱東笑道：“intel不是拉了那么多企業嗎？你也可以拉一個嘛。” 蘇遠山：“……” 他算是聽明白了，趙凱東的意思是，讓他也搞個EUV聯盟。 蘇遠山倒是想搞，可現在要是搞的話，那就不是遠芯主導，而是所有人給霓國人打工。 于是他便望向林本堅。 “林叔？你有什么妙招沒有？” （注：雖然有點枯燥，但……總歸還是得寫。。。） 1991從芯開始 第619章 下一代光源的抉擇
氣氛在這一刻驟然冷了下來。 文森蒂今年已年過六旬，頭發和胡須都已經花白，在短暫的驚愕后，怒意瞬間升起。 他站起身，雙手支撐在桌沿上，怒目望著史坦利。 “我可以認為你這是在對德州儀器進行指控嗎？” 史坦利毫不退縮：“我不是對你進行指控，我只是坦言一個事實。那就是，你們為大陸的遠芯提供了多少幫助，你們是明白的！” “扯淡吧你！”卡莉的火氣騰就上來了：“星海成立在遠芯之后，你說我們提供幫助？” 史坦利冷冷一笑：“星海的最大股東是誰？” “是星海基金。”沒等卡莉回答，史坦利繼續道：“星海基金的最大股東是誰？” “星海的大股東是誰不重要。”卡莉瞪著史坦利，一字一句道：“我只告訴你，星海科技是一家總部位于硅谷，并遵守本國法律，其董事長以及超過四分之三的員工都是本國公民，其余人也是擁有合法永久居住權的硅谷企業。” “我們與遠芯科技的所有合作，都是在互利互惠的基礎上，并遵守相關的法律規定所進行的合作，我希望你明白這一點。” 卡莉說完后便騰地起身，干脆利索地走出辦公室。 有了卡莉的這一通火，文森蒂反而冷靜了下來。 他皺著眉，沉默凝視了這位能源部中以強勢著稱，還明顯帶著冷戰思維的技術官僚幾秒后慢慢道：“史坦利先生，你任意夸大的做派，很有克格勃的風采。” 史坦利便聳了聳肩，表示自己根本不介意這個評價。 這時，張汝金突然悠悠道。 “史坦利先生，我想請教一個問題。” “眾所周知，銅的電阻小于鋁，因此可以在更小的面積上承載更大的電流。而在大規模集成電路中，如果用銅導線工藝替換如今的鋁導線，能達到更密集的晶體管設計，提高芯片效能。同時，銅的抗電子遷移能力也優于鋁，因此，處理器的可靠性也會得到極大的提高。” 張汝金知道對方是技術官僚，對這些門兒清，因此并沒有刻意解釋，而是直接問道：“德州儀器實現了銅導線工藝，閣下認為，該工藝應可以授權給我們嗎？” 史坦利先是怔了一下，隨即便是一笑，然后又望向文森蒂：“你們實現了銅導線工藝？” 文森蒂理都懶得理他。 張汝金微微一笑：“我們德遠半導體，實現了目前最優秀的銅導線工藝，比IBM的優秀許多。” 史坦利的笑瞬間凝固。 “而且，我們愿意授權給德儀。” EUV聯盟的成立，無疑表明了能源部或者說政府的態度。那就是，技術一定要掌握在自己手里。 蘇遠山不一樣，他就是要要惡心一下那幫人。 更何況，相比遠芯接下來的浸潤式技術，銅導線工藝遠談不上核心。 銅導線工藝只能讓德遠領先一時，再加上德遠現在的產能主要還是集中在YX架構以及閃存上，對于銅導線需求最急切的X86處理器反而因為市場緣故并沒有產能，發揮不了太大的作用。 因此，授權給德儀，讓德儀和星海聯手，一邊惡心AI兩家，同時再踩一腳島上那兩家想爬起來的代工廠，是怎么看怎么劃算的事。 事實上，因為遠芯長期不懈地堅持挖人，島上的工程師已經流失了很多。以至于德遠科技園這邊的小區都被人稱為小TW——小區里一大半都是島上的工程師。 蘇遠山從首都直飛滬市。 “梁博士，晶圓廠制程工藝我是純粹的外行。” 蘇遠山和梁夢松走在科技園的葡萄長廊下——這是張汝金見遠芯這邊葡萄路搞得挺好，刻意也copy了一個，再加上可以在葡萄架下聽到牛郎織女說話的傳說，對島上這幫工程師的安撫效果意想不到的好。 蘇遠山找了個陰涼的地方和梁夢松一道坐下，呵呵笑道：“所以我就不班門弄斧了。” “哪里，山總的全領域精通，是世人皆知的。”梁夢松說得很坦然：“我們還是希望山總能夠指出方向。” “真不敢——不過如果說方向的話，那就只有一條。” “德遠的制程優先，不用考慮任何其他因素的優先。就算今后上市了，要考慮到這樣那樣，也要堅定不移地這么走——股票愛買買，不買拉倒，大不了遠芯回購。” 梁夢松舔了一下嘴唇，身上升起一股燥熱。 ——廠里都說自己是個技術狂人，但自己這點狂，在山總面前，還真的只算小兒科了。 “山總，這可是你說的。”梁夢松笑了起來：“制程推進很花錢的。” “花錢怕什么？只要在關鍵制程上領先一步，一筆單子就賺回來了。晶圓廠是個贏家通吃的行業，誰掌握了先進制程，誰就掌握了高端芯片代工的定價權。” 梁夢松點頭，他當然清楚，今后的制程推進會越來越難，投入需求也會越來越大——當然回報也肯定足夠豐厚。 但遠芯還有個問題。 “山總，那要是遇到光刻機禁售……怎么辦？” 說到光刻機，蘇遠山馬上便沉默了下來。 EUV已經如歷史軌跡一樣成立——ASML這個荷蘭小公司，在簽下了幾乎是賣身契之后終于得以進入了EUV聯盟。 可以想象，在接下來的數年內，ASML將會迅速從技術上同時對尼康佳能進行追趕，并如歷史軌跡一般完成EUV的技術構想。 但歷史軌跡又不一樣的是，ASML完成對尼康佳能超越的關鍵團隊，目前在蘇遠山手上。 “只要國產光刻機仍然在追趕，禁售就不會發生。”蘇遠山抿著嘴，沉默地望向遠處的一棟大樓——那里便是林本堅和趙凱東的聯合團隊所在的實驗室。 “而且我們一直都與多方的光刻機企業有技術支持和合作，這種交錯的關系之下，除非德遠受到了明確的針對，否則不會發生。” 梁夢松不擅長這些“大棋”，他只需要知道，蘇遠山說不會，那他就不用擔心了。 而且德遠目前也確實是尼康的友好客戶，在去年WA協定簽署后，國內半導體產業都風聲鶴唳了許久，尼康為此還特意安排了工期……后面證明，霓國方面除了加強了檢查之外，并沒有干涉德遠的訂單。 “總之走著看，我們技術越有優勢，就越有討價還價的本錢。”說著蘇遠山站起身，朝著前方的實驗室走去。 “林叔，趙叔。” 蘇遠山見兩人同時站在門口，連忙上前握手，梁夢松也上前打了招呼。 見到跟在蘇遠山身后的梁夢松，林本堅倒沒什么，趙凱東則是微怔了一下——此時張汝金不在，按照規矩，負責接待陪同蘇遠山的顯然應該是德遠的二把手來…… 按照職位算，梁夢松只能排到德遠的第五。 這架勢，看來蘇遠山是真鐵了心的要全力推制程突破了。 在接待室落座后，蘇遠山簡單問了一下目前的進度——在光源領域，因為林本堅的加入，趙凱東團隊進展得很快，他們即將完成193nm的準分子激光光源技術。 雖然比起國外同行落后了差不多一年多，但好歹算是追上了。而且就現有的技術和理論來看，193nm將會成為很長一段時間內都無法突破的光源。否則燈塔國那邊也不會成立EUV聯盟，找尋新的出路了。 當然，對于如何跨越193nm，除了EUV之外，也有其他的方案。譬如尼康和SVG就在準備攻克157nm的HeF2激光，以及電子束投射(EPL)，離子投射(IPL)、甚至X光等等…… 總之，就是解決的辦法一籮筐，放眼望去全是路。 但具體哪一條是真正的正道，誰也不知道。 嗯，只有蘇遠山一個人知道。 因為這些方案，都敗給了眼前這個樂呵呵的老爺子。 “林叔，趙叔，193nm之后你們的想法是什么？”坐到沙發上，蘇遠山端起茶杯抿了一口。 趙凱東和林本堅對視了一眼，隨后笑著道：“193nm看樣子都要停留很久，你這么著急？” “我本來是不著急的。”蘇遠山很坦白：“主要是老美那邊搞EUV，搞得我有點心慌。” 趙凱東便笑著搖了搖頭：“雖然說光源要比光刻機領先很多，但193nm的光源現在都尚未用在光刻機上，你心慌也沒用。” “至于說下一代光源，其實我和老林并不十分看好157nm，因為HeF2激光可以說要完全推翻現有的光路系統，非但物鏡要重新搞，光刻膠也要重新研制……最主要的是，波長步進提升不大，且投入產出比太高了。” “EUV，聽起來很不錯，有點下一代光源的意思。但你看EUV聯盟那架勢……就不是我們這個小作坊能夠完成的。” 蘇遠山便笑道：“有您二位在，咱們這實驗室可不是小作坊。” “呵呵，不管是不是，但設計師不是有句話嗎？摸著石頭過河……既然前面有人趟路了，那我們也干脆摸著石頭過河就行了。”趙凱東笑道：“intel不是拉了那么多企業嗎？你也可以拉一個嘛。” 蘇遠山：“……” 他算是聽明白了，趙凱東的意思是，讓他也搞個EUV聯盟。 蘇遠山倒是想搞，可現在要是搞的話，那就不是遠芯主導，而是所有人給霓國人打工。 于是他便望向林本堅。 “林叔？你有什么妙招沒有？” （注：雖然有點枯燥，但……總歸還是得寫。。。） 1991從芯開始 第619章 下一代光源的抉擇
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