第093章 光掩模制版
更新時間:2020-06-21 作者:颶有梗
芯片的戰爭 第093章 光掩模制版
令余子賢興奮的是，在蔡俊杰的研究資料里面看見了光刻技術工序工藝中，與最重要工藝的電子束曝光系統對應的微米級掩模的制造。 聽著好像有點繞口、難懂，但是要說這種微米掩模技術的先進性，還得從掩模技術的發展說起。 芯片的生產流程圖簡單來說要經過IC設計、制版、芯片加工，封裝、測試包裝幾大環節，如果簡單地打個比方來說，如果比喻成一本書的印刷的話，就是：寫作、排版、印刷、裝訂、檢驗、打包。 而前面說的掩模對應書本印刷里面的排版，只要排好版了，對著版面印刷，才能印出一本整齊漂亮的書。同理，在芯片加工之前，需要將設計好的芯片版圖進行制版，只有以此為模板，進行芯片制造光刻，才能制造出裸晶，再這些裸晶中檢測挑選出好的，最后芯片進行封裝，才算是一顆可用的芯片。 再往細了說，就是光刻工藝是芯片制造中最為重要的工藝步驟之一。主要作用是將掩膜板上的圖形復制到硅片上，為下一步進行刻蝕或者離子注入工序做好準備。 在芯片制作過程的光刻工序，通常需要經過多次光刻工藝，在半導體晶體表面的介質層上開鑿各種摻雜窗口、電極接觸孔或在導電層上刻蝕金屬互連圖形。 而光刻工藝需要一整套（幾塊多至十幾塊）相互間能精確套準的、具有特定幾何圖形的光復印掩蔽模版，簡稱光掩模版。 光掩制造技術是隨著平面工藝的誕生逐漸發展起來的。 在1963年共和國就已經研制成功了平面晶體管和硅數字集成電路。這時候就是沿用的傳統的照相術，首先在銅板紙上噴涂一層黑漆，然后用手術刀人工刻圖、截圖，采用大型照相機照相制成掩模板。 等到七十年到，共和國從曰本引進一批聚酯紅膜刻圖機和可在超微粒干版上曝光的E線分步重復曝光機，才算是擺脫人工進入了機械制造光掩模的能力；而八十年代，掩模技術設備再次更新換代，在建立滿足自身光學掩模生產所需的鉻板的同時，又利用中美蜜月期，引進了一批高精度光學制版設備，包括可變光闌式圖形發生器，還有與之配套的GCA公司的精縮機。此時共和國的掩模制版能力跨上了一個大臺階，也是光掩模技術制造業的鼎盛時期，最接近國際光掩模制造水平的高光時刻。 可喜隨著進入90年代，國際進入亞微米集成電路和亞微米加工技術的實際應用，共和國的光刻技術以及光掩模技術再次到了設備高興周期。 而此時，隨著國際政治環境的變化，共和國引進之門被巴統禁運徹底關上。 蔡俊杰正開發的掩模技術直接影響著掩膜版的質量，而光掩模版的質量優劣不僅僅直接影響著光刻工藝的質量，還影響著半導體器件或集成電路的電學性能、可靠性和芯片成品率。 不如說佟若愚之前說的3微米工藝芯片的良率從59%有希望提高到70%以上，就是因為如此。 芯片成品率隨著掩模版的缺陷密度的增大而按負指數關系急劇下降。據推算，若要達到95%以上的成品率，掩模版的缺陷密度必須控制在每平方厘米0.175 個以下。如果缺陷密度增大到每平方厘米1.25個，則成品率因缺陷的直接影響會下降到65%以下。因此，根據佟若愚的說法，此時蔡俊杰的掩膜版技術應該是取得了突破。 而這個突破是余子賢非常看重的，就憑這個技術，這個廠子收購下來都值了，余子賢可不打算一直在3微米左右混。4英寸的晶圓最小可以加工1.2微米工藝的芯片。余子賢希望在收購回來的1-2年來達到這個標準。 共和國此時打算上馬的908工程，因為各種原因，可是到98年才打到0.9微米的，國內其他合作項目也是在1995年才跨國1微米的門檻，進入到亞微米技術的。 只有領先才有飯吃，縱使做不了全球技術領先，但是可以引領國內技術的發展，為自己爭取更多的話語權，這有這樣，共和國電子工業才有崛起的希望！才能避免像前世一樣，跟在別人后面一直在吃土！ 想通這些之后，余子賢又給蔣月華打電話，告訴已經打算收購蔡氏晶圓廠的決定，讓他那邊可以啟動盡職調查，還有貸款程序。 他得回內陸一趟，想想辦法看能不能搜刮些錢，他實在不想抽干金拱門的流動資金啊，那都是本錢，會下崽的搖錢樹啊！魔方智慧是更沒有可能了，現在他的資金鏈剛持平，大計劃當前，更加不敢亂動！ 之后，又和蔡老板簽了個收購協議。 到此時，余子賢才覺得自己可用的人手真是太少了，什么事情都得自己跑！ 他現在有了一絲期待，不知道蔣月華什么時候從匯豐銀行正式離職，到時候怎么都得想辦法挖過來，金融這一塊對方是專業，可以讓自己少操多少心！ 這邊事情安排好之后，余子賢和郝萌又返回了羊城，準備做飛機返回燕京。 可是當天的飛機直飛燕京的沒有了。兩三天之后倒是有，可是時間等不及啊！ 今天已經是2月2號了，按照老爺子的計劃，在8號左右好像有一個燕京全市表彰大會，非要余子賢去參加，說什么有驚喜之類的。 這還有五六天了，先把自己的事情辦好，完了參加會議，春節前看圖猜成語游戲又要上線，到時候自己也得參加，這都是一堆事情！ 今天怎么都得走，不然事太多，時間來不及！ 沒辦法，兩人只好買了中轉廈鷺市的機票。 郝萌這邊的事情也算是告一段落了，現在回去可以在家過一個春節了。 余子賢有個不知道是好還是壞的習慣，每次坐火車或者做飛機的時候都要把自己排空放干凈，不然總感覺在火車或者飛機上上廁所太麻煩不自在。 這次也不例外。余子賢讓郝萌先上，他先在大廳上了個洗手間，等余子賢登機的時候，前面的人已經登機一半有余了。 排隊安檢，余子賢前面正好一個拎著密碼箱的小伙子，看起來很煩躁的樣子，神態有些慌張。余子賢沒有在意，以為對方是不是身體有什么不舒服的。 這個小伙子也就20余歲，很年輕，身高1米7左右。一身西服，他一手拿著一束塑料制紅玫瑰，看起來是個有情調的有錢人。 不過大家都順利的通過安檢，兩人也依次順序登機。 余子賢在登上飛機進入機艙門的剎那，突然一陣心悸，說不來的莫名煩躁，只當是等坐飛機的心底一絲恐懼，沒有在乎。 芯片的戰爭 第093章 光掩模制版
令余子賢興奮的是，在蔡俊杰的研究資料里面看見了光刻技術工序工藝中，與最重要工藝的電子束曝光系統對應的微米級掩模的制造。 聽著好像有點繞口、難懂，但是要說這種微米掩模技術的先進性，還得從掩模技術的發展說起。 芯片的生產流程圖簡單來說要經過IC設計、制版、芯片加工，封裝、測試包裝幾大環節，如果簡單地打個比方來說，如果比喻成一本書的印刷的話，就是：寫作、排版、印刷、裝訂、檢驗、打包。 而前面說的掩模對應書本印刷里面的排版，只要排好版了，對著版面印刷，才能印出一本整齊漂亮的書。同理，在芯片加工之前，需要將設計好的芯片版圖進行制版，只有以此為模板，進行芯片制造光刻，才能制造出裸晶，再這些裸晶中檢測挑選出好的，最后芯片進行封裝，才算是一顆可用的芯片。 再往細了說，就是光刻工藝是芯片制造中最為重要的工藝步驟之一。主要作用是將掩膜板上的圖形復制到硅片上，為下一步進行刻蝕或者離子注入工序做好準備。 在芯片制作過程的光刻工序，通常需要經過多次光刻工藝，在半導體晶體表面的介質層上開鑿各種摻雜窗口、電極接觸孔或在導電層上刻蝕金屬互連圖形。 而光刻工藝需要一整套（幾塊多至十幾塊）相互間能精確套準的、具有特定幾何圖形的光復印掩蔽模版，簡稱光掩模版。 光掩制造技術是隨著平面工藝的誕生逐漸發展起來的。 在1963年共和國就已經研制成功了平面晶體管和硅數字集成電路。這時候就是沿用的傳統的照相術，首先在銅板紙上噴涂一層黑漆，然后用手術刀人工刻圖、截圖，采用大型照相機照相制成掩模板。 等到七十年到，共和國從曰本引進一批聚酯紅膜刻圖機和可在超微粒干版上曝光的E線分步重復曝光機，才算是擺脫人工進入了機械制造光掩模的能力；而八十年代，掩模技術設備再次更新換代，在建立滿足自身光學掩模生產所需的鉻板的同時，又利用中美蜜月期，引進了一批高精度光學制版設備，包括可變光闌式圖形發生器，還有與之配套的GCA公司的精縮機。此時共和國的掩模制版能力跨上了一個大臺階，也是光掩模技術制造業的鼎盛時期，最接近國際光掩模制造水平的高光時刻。 可喜隨著進入90年代，國際進入亞微米集成電路和亞微米加工技術的實際應用，共和國的光刻技術以及光掩模技術再次到了設備高興周期。 而此時，隨著國際政治環境的變化，共和國引進之門被巴統禁運徹底關上。 蔡俊杰正開發的掩模技術直接影響著掩膜版的質量，而光掩模版的質量優劣不僅僅直接影響著光刻工藝的質量，還影響著半導體器件或集成電路的電學性能、可靠性和芯片成品率。 不如說佟若愚之前說的3微米工藝芯片的良率從59%有希望提高到70%以上，就是因為如此。 芯片成品率隨著掩模版的缺陷密度的增大而按負指數關系急劇下降。據推算，若要達到95%以上的成品率，掩模版的缺陷密度必須控制在每平方厘米0.175 個以下。如果缺陷密度增大到每平方厘米1.25個，則成品率因缺陷的直接影響會下降到65%以下。因此，根據佟若愚的說法，此時蔡俊杰的掩膜版技術應該是取得了突破。 而這個突破是余子賢非常看重的，就憑這個技術，這個廠子收購下來都值了，余子賢可不打算一直在3微米左右混。4英寸的晶圓最小可以加工1.2微米工藝的芯片。余子賢希望在收購回來的1-2年來達到這個標準。 共和國此時打算上馬的908工程，因為各種原因，可是到98年才打到0.9微米的，國內其他合作項目也是在1995年才跨國1微米的門檻，進入到亞微米技術的。 只有領先才有飯吃，縱使做不了全球技術領先，但是可以引領國內技術的發展，為自己爭取更多的話語權，這有這樣，共和國電子工業才有崛起的希望！才能避免像前世一樣，跟在別人后面一直在吃土！ 想通這些之后，余子賢又給蔣月華打電話，告訴已經打算收購蔡氏晶圓廠的決定，讓他那邊可以啟動盡職調查，還有貸款程序。 他得回內陸一趟，想想辦法看能不能搜刮些錢，他實在不想抽干金拱門的流動資金啊，那都是本錢，會下崽的搖錢樹啊！魔方智慧是更沒有可能了，現在他的資金鏈剛持平，大計劃當前，更加不敢亂動！ 之后，又和蔡老板簽了個收購協議。 到此時，余子賢才覺得自己可用的人手真是太少了，什么事情都得自己跑！ 他現在有了一絲期待，不知道蔣月華什么時候從匯豐銀行正式離職，到時候怎么都得想辦法挖過來，金融這一塊對方是專業，可以讓自己少操多少心！ 這邊事情安排好之后，余子賢和郝萌又返回了羊城，準備做飛機返回燕京。 可是當天的飛機直飛燕京的沒有了。兩三天之后倒是有，可是時間等不及啊！ 今天已經是2月2號了，按照老爺子的計劃，在8號左右好像有一個燕京全市表彰大會，非要余子賢去參加，說什么有驚喜之類的。 這還有五六天了，先把自己的事情辦好，完了參加會議，春節前看圖猜成語游戲又要上線，到時候自己也得參加，這都是一堆事情！ 今天怎么都得走，不然事太多，時間來不及！ 沒辦法，兩人只好買了中轉廈鷺市的機票。 郝萌這邊的事情也算是告一段落了，現在回去可以在家過一個春節了。 余子賢有個不知道是好還是壞的習慣，每次坐火車或者做飛機的時候都要把自己排空放干凈，不然總感覺在火車或者飛機上上廁所太麻煩不自在。 這次也不例外。余子賢讓郝萌先上，他先在大廳上了個洗手間，等余子賢登機的時候，前面的人已經登機一半有余了。 排隊安檢，余子賢前面正好一個拎著密碼箱的小伙子，看起來很煩躁的樣子，神態有些慌張。余子賢沒有在意，以為對方是不是身體有什么不舒服的。 這個小伙子也就20余歲，很年輕，身高1米7左右。一身西服，他一手拿著一束塑料制紅玫瑰，看起來是個有情調的有錢人。 不過大家都順利的通過安檢，兩人也依次順序登機。 余子賢在登上飛機進入機艙門的剎那，突然一陣心悸，說不來的莫名煩躁，只當是等坐飛機的心底一絲恐懼，沒有在乎。 芯片的戰爭 第093章 光掩模制版
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