第259章 突破14nm光刻機工藝
更新時間:2021-04-06 作者:二將
全球制造 第259章 突破14nm光刻機工藝
華達九天興師動眾的招聘啟事并沒有引起業界轟動，因為EDA的盤子實在是太小了。 2021年，全球半導體產業銷售額達5188億美元，然而作為芯片基礎的EDA產業卻只有區區70億美元左右，簡直令人難以置信。 而中國EDA銷售額在這70億美元里面，更是連1都沒有占到。 這種情況下，外國巨頭根本懶得關心中國EDA的發展情況。 就算再折騰又能怎么樣？ 而且話說回來了，要知道任何EDA軟件都是和市場掛鉤的，EDA是上游廠商、設計廠商、制造廠商、封測廠商合作的產物，任何一個環節落后或缺失，都會對EDA工具有影響。 舉個最簡單的例子，國外最先進的EDA軟件可以設計、仿真、驗證5nm甚至3nm的芯片，國內的EDA呢？目前還徘徊在28nm左右，差距就像地球到月球這么遠。 就在國外EDA企業不以為然之際，中國的EDA軟件，在時隔三十年后，再次揚帆起航了。 4月18號上午九點，中海自貿區張東路1525號。 這里是中海微電子裝備有限公司（SMEE）總部，同時中星微電子裝備股份有限公司（XHZZ）研發基地也設立在這里。 此時，單層面積超過5000平方米的大型實驗室里，無數身穿白色無塵服的研究員正在忙碌著，還有很多類人機器人也在自由的穿梭其中，帶給人一種科幻大片現場的視覺沖擊！ 就在這時，實驗室挑高的二層參觀臺上涌出一大群人，老中青都有。 被眾人簇擁在最前面的三人分別是GWY下來考察調研的首長，SMEE董事長孫立群以及陳序。 孫立群介紹道：“這些機器人全部是星海科技研發制造的特種工業機器人…… 光源系統、攝像光學系統、調焦掃描系統、視頻采集系統和監測軟件等等，也是由星海科技獨家研發，并且擁有全部知識產權……” “了不起啊！難怪網上都說星海是中國科技的未來之星。” 陪同著一起超前的陳序，謙虛道：“總L過獎了，我們還有很多不足的地步。” 首長親切的拍拍他肩膀，然后順著參觀臺上設立的透明甬道朝前走去，邊走邊看，同時問道：“那目前主要還有哪些困難呢？” “主要就是機械精度方面有待提高…它里面有兩個同步運動的工件臺，一個載底片，一個載膠片，兩者需要始終同步，誤差要在2nm以下，而兩個工作臺由靜到動，加速度跟導彈發射差不多……” 孫立群搶著介紹了一番后，首長轉頭問右側的陳序，“小陳你估計多長時間能研制成功？” 陳序組織了一下語言說：“如果一切順利的話，大概今年底吧！” 說完陳序又跟到：“因為是第一次做沒經驗，再加上一些關鍵性的零部件被卡了脖子，只能通過自主研發。不過等到7nm時應該會很輕松。” 首長聞言有些訝異道：“7nm？” 孫立群再次搶著介紹道：“總L您沒聽錯，正是7nm。 我們和星海在研發14nm以及10nm的同時也在布局7nm，而且我們的7nm技術跟國外的稍稍有些不同……” 首長聽完后點點頭，再次伸手拍拍陳序的手臂，“嗯，你是好樣的！” 陳序被夸的有些不好意思了，呵呵笑著沒說話。 一個小時后，下來考察調研的領導及隨行人員乘坐考斯特離開了，陳序回到辦公室直接癱坐在了沙發里，說：“感覺比做十天實驗還累。” 跟進來的中星微電子總負責人張海春，笑呵呵道：“一般搞學術的人，都不怎么喜歡這種場合，等以后習慣了應該會好一些。” 張海春是光刻機領域的大牛級人物，曾先后在ASML及臺積電工作，甚至還被SMEE聘請為高級總工程師，不過后來因為某些原因離職了。 他在國際學術圈的地位比周東林還牛掰。 “呵呵，也許吧。”陳序說著坐起來點了一根煙，“超精密工件臺的實驗怎么樣了？” “不怎么理想，目前實驗最多只能到5nm，距離要求的2nm還有一定的差距，德國跟日苯那邊……” 陳序聽了一會，然后一把把香煙摁滅，起身道：“走，帶我過去看看。” 光刻機和別的設備不一樣，它里面大部分零部件都需要專門定制。 什么意思呢，就是你想在市場上買配件來組裝都不可能。 而越高端定制的比例也越高，到了10nm這個級別，里面90以上都是定制的。 且不是你想定制就能定制的，得看上游廠商愿不愿意接你的訂單。 他之前花高價從荷蘭買配件，就是因為那些配件如果全部自己生產的話，先不說短時間能不能生產出來，就算能做出來，價格也要貴上十倍都不止！ 不過以后不行了 ，歐美日韓對星海進行了全面的技術封鎖，荷蘭那邊已經pass掉XHZZ的訂單申請。 不僅僅是荷蘭，德國跟日苯那邊的零部件訂單也毀約了，導致最關鍵的超精密工件臺一直不能達到滿意要求。 來到實驗室，陳序控制機器人調校超精密工件臺，而小白則根據電腦上的反饋結果重新編寫控制程序。 一遍、兩遍、十遍…… 這一做就是十二小時，餓的實在撐不住了才出去吃一點，然后繼續全身心的投入到實驗中來。 超精密機械的調校是非常耗費時間精力的，像米國Cymer、德國蔡司的工程師對每一個部件的調校次數都有可能高達十年以上。 當然，陳序不可能像那些工程師一樣，花費十年去調校一個零部件，也不需要。 小白會幫他省去百分之九十九的步驟。 半個月后，經過陳序廢寢忘食的工作，把超精密工件臺的精度調校到了3nm。 這是一個具有里程碑紀念意義的時刻！ 因為3nm的超精密工件臺已經滿足了14nm光刻機的制備工藝要求。 從這一刻起，中國算是全面掌握了14nm光刻機的制造技術。 上百名工程師全部圍了過來，看著模擬機上的超精密工件臺高速運行著，很多人眼睛里泛起了淚花。 偌大的實驗室里響起了熱烈的掌聲。 “啪啪啪……” 多少年了，中國一直嚷著制造“中國芯”，但是因為造不出來尖端光刻機，這個夢想只能停留在幻想之中。 在機械、通訊設備、企業金融、航空航天等核心領域，不得不大量采用國外的芯片。 而眾所周知，芯片是可以開后門的，而且是非常容易的事情。 最危險的就是只要不拔電池，通過芯片后門你所有的動作、所有的信息別人都可以輕易獲取，而且你還不知道。 舉個最簡單的例子，智能手機一般都裝有GPS芯片，即使關機了也可以定位。 張海春博士看著電腦上運行的數據，膀激動的說：“好啊…好！實在是太好了！” 陳序面帶笑容說：“還是差了點！不過差不多到極限了，想達到10nm的制備工藝，只能從硬件上想辦法了。” “已經非常厲害了……” 現場工程師個個都以崇拜的眼神看著陳序。 很快SMEE的董事長孫立群，以及魯嘉榮博士都是聞訊趕來，看到運行數據都是興奮的恨不得手舞足蹈。 “實在是太好了！”孫立群說著朝實驗室大門口跑去了，看樣子是去打電話給上級部門報喜了。 魯嘉榮博士激動到眼淚都下來了，緊緊摟著陳序的肩膀，看著模擬機上高速運轉的工件臺，語無倫次道：“陳工……你…好啊……” 全球制造 第259章 突破14nm光刻機工藝
華達九天興師動眾的招聘啟事并沒有引起業界轟動，因為EDA的盤子實在是太小了。 2021年，全球半導體產業銷售額達5188億美元，然而作為芯片基礎的EDA產業卻只有區區70億美元左右，簡直令人難以置信。 而中國EDA銷售額在這70億美元里面，更是連1都沒有占到。 這種情況下，外國巨頭根本懶得關心中國EDA的發展情況。 就算再折騰又能怎么樣？ 而且話說回來了，要知道任何EDA軟件都是和市場掛鉤的，EDA是上游廠商、設計廠商、制造廠商、封測廠商合作的產物，任何一個環節落后或缺失，都會對EDA工具有影響。 舉個最簡單的例子，國外最先進的EDA軟件可以設計、仿真、驗證5nm甚至3nm的芯片，國內的EDA呢？目前還徘徊在28nm左右，差距就像地球到月球這么遠。 就在國外EDA企業不以為然之際，中國的EDA軟件，在時隔三十年后，再次揚帆起航了。 4月18號上午九點，中海自貿區張東路1525號。 這里是中海微電子裝備有限公司（SMEE）總部，同時中星微電子裝備股份有限公司（XHZZ）研發基地也設立在這里。 此時，單層面積超過5000平方米的大型實驗室里，無數身穿白色無塵服的研究員正在忙碌著，還有很多類人機器人也在自由的穿梭其中，帶給人一種科幻大片現場的視覺沖擊！ 就在這時，實驗室挑高的二層參觀臺上涌出一大群人，老中青都有。 被眾人簇擁在最前面的三人分別是GWY下來考察調研的首長，SMEE董事長孫立群以及陳序。 孫立群介紹道：“這些機器人全部是星海科技研發制造的特種工業機器人…… 光源系統、攝像光學系統、調焦掃描系統、視頻采集系統和監測軟件等等，也是由星海科技獨家研發，并且擁有全部知識產權……” “了不起啊！難怪網上都說星海是中國科技的未來之星。” 陪同著一起超前的陳序，謙虛道：“總L過獎了，我們還有很多不足的地步。” 首長親切的拍拍他肩膀，然后順著參觀臺上設立的透明甬道朝前走去，邊走邊看，同時問道：“那目前主要還有哪些困難呢？” “主要就是機械精度方面有待提高…它里面有兩個同步運動的工件臺，一個載底片，一個載膠片，兩者需要始終同步，誤差要在2nm以下，而兩個工作臺由靜到動，加速度跟導彈發射差不多……” 孫立群搶著介紹了一番后，首長轉頭問右側的陳序，“小陳你估計多長時間能研制成功？” 陳序組織了一下語言說：“如果一切順利的話，大概今年底吧！” 說完陳序又跟到：“因為是第一次做沒經驗，再加上一些關鍵性的零部件被卡了脖子，只能通過自主研發。不過等到7nm時應該會很輕松。” 首長聞言有些訝異道：“7nm？” 孫立群再次搶著介紹道：“總L您沒聽錯，正是7nm。 我們和星海在研發14nm以及10nm的同時也在布局7nm，而且我們的7nm技術跟國外的稍稍有些不同……” 首長聽完后點點頭，再次伸手拍拍陳序的手臂，“嗯，你是好樣的！” 陳序被夸的有些不好意思了，呵呵笑著沒說話。 一個小時后，下來考察調研的領導及隨行人員乘坐考斯特離開了，陳序回到辦公室直接癱坐在了沙發里，說：“感覺比做十天實驗還累。” 跟進來的中星微電子總負責人張海春，笑呵呵道：“一般搞學術的人，都不怎么喜歡這種場合，等以后習慣了應該會好一些。” 張海春是光刻機領域的大牛級人物，曾先后在ASML及臺積電工作，甚至還被SMEE聘請為高級總工程師，不過后來因為某些原因離職了。 他在國際學術圈的地位比周東林還牛掰。 “呵呵，也許吧。”陳序說著坐起來點了一根煙，“超精密工件臺的實驗怎么樣了？” “不怎么理想，目前實驗最多只能到5nm，距離要求的2nm還有一定的差距，德國跟日苯那邊……” 陳序聽了一會，然后一把把香煙摁滅，起身道：“走，帶我過去看看。” 光刻機和別的設備不一樣，它里面大部分零部件都需要專門定制。 什么意思呢，就是你想在市場上買配件來組裝都不可能。 而越高端定制的比例也越高，到了10nm這個級別，里面90以上都是定制的。 且不是你想定制就能定制的，得看上游廠商愿不愿意接你的訂單。 他之前花高價從荷蘭買配件，就是因為那些配件如果全部自己生產的話，先不說短時間能不能生產出來，就算能做出來，價格也要貴上十倍都不止！ 不過以后不行了 ，歐美日韓對星海進行了全面的技術封鎖，荷蘭那邊已經pass掉XHZZ的訂單申請。 不僅僅是荷蘭，德國跟日苯那邊的零部件訂單也毀約了，導致最關鍵的超精密工件臺一直不能達到滿意要求。 來到實驗室，陳序控制機器人調校超精密工件臺，而小白則根據電腦上的反饋結果重新編寫控制程序。 一遍、兩遍、十遍…… 這一做就是十二小時，餓的實在撐不住了才出去吃一點，然后繼續全身心的投入到實驗中來。 超精密機械的調校是非常耗費時間精力的，像米國Cymer、德國蔡司的工程師對每一個部件的調校次數都有可能高達十年以上。 當然，陳序不可能像那些工程師一樣，花費十年去調校一個零部件，也不需要。 小白會幫他省去百分之九十九的步驟。 半個月后，經過陳序廢寢忘食的工作，把超精密工件臺的精度調校到了3nm。 這是一個具有里程碑紀念意義的時刻！ 因為3nm的超精密工件臺已經滿足了14nm光刻機的制備工藝要求。 從這一刻起，中國算是全面掌握了14nm光刻機的制造技術。 上百名工程師全部圍了過來，看著模擬機上的超精密工件臺高速運行著，很多人眼睛里泛起了淚花。 偌大的實驗室里響起了熱烈的掌聲。 “啪啪啪……” 多少年了，中國一直嚷著制造“中國芯”，但是因為造不出來尖端光刻機，這個夢想只能停留在幻想之中。 在機械、通訊設備、企業金融、航空航天等核心領域，不得不大量采用國外的芯片。 而眾所周知，芯片是可以開后門的，而且是非常容易的事情。 最危險的就是只要不拔電池，通過芯片后門你所有的動作、所有的信息別人都可以輕易獲取，而且你還不知道。 舉個最簡單的例子，智能手機一般都裝有GPS芯片，即使關機了也可以定位。 張海春博士看著電腦上運行的數據，膀激動的說：“好啊…好！實在是太好了！” 陳序面帶笑容說：“還是差了點！不過差不多到極限了，想達到10nm的制備工藝，只能從硬件上想辦法了。” “已經非常厲害了……” 現場工程師個個都以崇拜的眼神看著陳序。 很快SMEE的董事長孫立群，以及魯嘉榮博士都是聞訊趕來，看到運行數據都是興奮的恨不得手舞足蹈。 “實在是太好了！”孫立群說著朝實驗室大門口跑去了，看樣子是去打電話給上級部門報喜了。 魯嘉榮博士激動到眼淚都下來了，緊緊摟著陳序的肩膀，看著模擬機上高速運轉的工件臺，語無倫次道：“陳工……你…好啊……” 全球制造 第259章 突破14nm光刻機工藝
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