第二百九十九章 研發中的第四代光刻機
更新時間:2019-03-11 作者:秒速九光年
科技霸權 第二百九十九章 研發中的第四代光刻機
溫成嶺跟隨羅佳離開辦公室，來到光學部地下三層。 在那里，溫成嶺見到了一部機器，一部驗證原型機，型號為超光刻初代。 “這是一臺光刻機？” 溫成嶺停下腳步，疑惑的問，同時露出震驚的表情。 商用型號光刻機會進行外包裝，而這臺是初代機，所以內部元器件都是裸露在外的，透過落地玻璃，可以一覽無余。 溫成嶺震撼于這臺機器的設計，它個體很大，擁有多達六個機臺，其中三個是測量機臺，另外三個是標準曝光臺。 更多機臺可以提高光刻機的工作效率，每小時產出更多硅片。 然而增加機臺的同時，也對機械結構以及機臺的減震能力，提出了更高要求，難度系數呈幾何倍數增加，所以絕大多數光刻機的機臺都只有兩個。 光刻機是半導體領域的皇冠，需要無塵環境，此刻羅佳他們站在實驗室外面，隔著一層玻璃。 “要不要進去看一看？”羅佳問道。 “真的可以嗎？”溫成嶺微微一怔，顯得非常激動。 “當然了，我們去換防塵服。”羅佳笑著說。 溫成嶺在北美上學和工作的年代，中美關系還不像如今這樣緊張，所以他是識貨的，在斯坦福大學的實驗室里，見過許多光學領域最前沿的科技。 時至今日，北美方面已經不允許華夏留學生，進入關鍵性科技領域學習了，以防止技術外泄，半導體，生命科學，航空航天，都屬于被禁的領域。 但溫成嶺雖然見多識廣，卻從未見過這樣夸張的光刻機設計，一臺機器，同時在六個機臺上展開全自動作業，效率應該會非常高吧。 溫成嶺一邊換上白色防塵服，一邊暗暗在心里想，世界科技史上，從來就不缺乏精彩絕倫的創意，然而把創意變為現實，卻是非常困難的，星辰科技的初代機，應該還是用來做驗證，完成度應該不會太高才對。 光刻機這個東西難到了什么程度呢？ 全世界只有一家公司能做EUV，也就是荷蘭ASML。 紫外光時代，全球有上百家企業出沒在光刻機領域，那個時候真可謂百花齊放，精彩紛呈。 然而好景不長，隨著深紫外光技術的推出，原本一百多家制造光刻機的企業，銳減到三家，除了佳能，尼康，ASML之外，其他所有企業全部慘遭淘汰。 從這也不難看出，一次技術進步，會給全行業帶來多么嚴重的洗牌。 所有人都死了，還活著的三家自然賺的盆滿缽滿，他們吃著火鍋，唱著歌，大把鈔票自然就來了，生活簡直不要太愜意。 可惜時間又過了幾年，隨著半導體技術不斷推陳出新，深紫外光刻也漸漸變的力不從心。 于是光刻機領域開始了第二輪技術競賽，而這次技術競賽的結果，是佳能和尼康出局，荷蘭ASML成為最后的贏家。 全球唯一能夠制造極紫外EUV光刻機的超級怪獸，就此誕生！ 這樣的慘烈競爭，簡直可怕！ 要知道，尼康和佳能絕不是吃素的，他們都是這個世界上最厲害的光學企業。 一說起他們兩家，普通人會馬上想到數碼相機，各種鏡頭之類的民用產品，但尼康和佳能最強大和最賺錢的并不是民用領域，而是醫療器械。 當你去醫院里，花一千來塊錢拍個CT的時候，所用的設備，很可能就是佳能或者尼康制造的，要不然就是理光，西門子，日立。 而一臺CT設備的售價，高達上千萬元，僅僅華夏地區，就有上萬套CT設備，全部來自進口，你猜這些年來，霓虹醫療器械巨頭，從華夏賺走了多少錢？ 再說，你買了一臺CT機并不算完，配套軟件，設備檢修，各種耗材，也是要花錢從霓虹人手里買。 總而言之，佳能和尼康是極其厲害的企業，光學領域扛鼎的存在，卻依然慘敗給荷蘭ASML，足以看出這個行業的門檻不是高，而是高到了天上。 荷蘭ASML也不是什么無名小卒，它們的前身是大名鼎鼎的飛利浦光學，他們用的物鏡，來自全球鏡片領域第一大牛，德國卡爾.蔡司。 可以說，集合整個歐洲，再加上一部分北美的力量，才搞出了ASML這個怪物。 在過去，ASML是沒有對手的，直到星辰科技出現。 羅佳異想天開，決定彎道超車，繞過由紫外光，深紫外光，極紫外光組成的前三代核心技術，直接進入光刻機的第四代，超紫外混合激光，這其中的難度，外行人是永遠無法明白的。 溫成嶺正思考著，實驗室的密封門忽然在他面前打開了。 他笑了笑，在進入實驗室之前對羅佳認真的說道：“羅總，我的專業是激光，也自信能夠搞定光刻機的光源問題，但您應該也知道，一臺光刻機僅僅有光源是不夠的，其他數以千計的核心零部件，我可就無能為力了。” 這算是給羅佳打預防針了，他說這話的意思是，我能幫你把超紫外混合激光搞出來，但激光之外的事情，我也是無能為力，還要看星辰科技自己的力量。 羅佳只是點頭笑了笑，并沒有說什么。 兩個人很快來到這臺機器跟前，羅佳淡淡的說，“這就是我們的初代機，它共分為十三大結構，分別是激光發生器，光束矯正器，能量控制器，光束形狀調整器，遮光器，能量探測器，掩膜版，掩膜臺，物鏡，測量臺，曝光臺，封閉框架，磁懸浮減震。” 羅佳指著機器，介紹這臺復雜的組成。 雖然聽名字似乎很簡單，但就算用腳后跟想也能明白，作為半導體行業的王冠，又怎么可能簡單呢。 就拿這臺光刻機的物鏡來說，如果你以為那是一個類似單反鏡頭東西，那就完全錯了。 ASML公司EUV型光刻機采用的物鏡，高達一米八四，寬度接近七十公分，是德國光學巨頭卡爾.蔡司集團，與激光巨頭亞琛集團聯合制造的。 物鏡多少錢？ 抱歉，無論羅佳掏多少錢，都買不到這套物鏡。 從成本的角度估算，這套物鏡的成本應該在一千萬美元左右，其復雜程度和精確程度，足以被寫入光學發展史。 羅佳給溫成嶺看的，就是這么個東西，它巨大而精密，充滿科幻電影般的未來感。 而且ASML的EUV是第三代，羅佳這個是第四代，超紫外光，技術復雜程度還要更高。 “你們...竟然已經做到了這種程度！？”溫成嶺激動的瞪大眼睛，發出不可思議的聲音。 剛才距離遠，又隔著玻璃，所以沒太看清楚，還以為是個樣子貨。 如今走進無塵實驗室里，溫成嶺才恍然發覺，這臺四代光刻機的完成度，已經如此之高！ 科技霸權 第二百九十九章 研發中的第四代光刻機
溫成嶺跟隨羅佳離開辦公室，來到光學部地下三層。 在那里，溫成嶺見到了一部機器，一部驗證原型機，型號為超光刻初代。 “這是一臺光刻機？” 溫成嶺停下腳步，疑惑的問，同時露出震驚的表情。 商用型號光刻機會進行外包裝，而這臺是初代機，所以內部元器件都是裸露在外的，透過落地玻璃，可以一覽無余。 溫成嶺震撼于這臺機器的設計，它個體很大，擁有多達六個機臺，其中三個是測量機臺，另外三個是標準曝光臺。 更多機臺可以提高光刻機的工作效率，每小時產出更多硅片。 然而增加機臺的同時，也對機械結構以及機臺的減震能力，提出了更高要求，難度系數呈幾何倍數增加，所以絕大多數光刻機的機臺都只有兩個。 光刻機是半導體領域的皇冠，需要無塵環境，此刻羅佳他們站在實驗室外面，隔著一層玻璃。 “要不要進去看一看？”羅佳問道。 “真的可以嗎？”溫成嶺微微一怔，顯得非常激動。 “當然了，我們去換防塵服。”羅佳笑著說。 溫成嶺在北美上學和工作的年代，中美關系還不像如今這樣緊張，所以他是識貨的，在斯坦福大學的實驗室里，見過許多光學領域最前沿的科技。 時至今日，北美方面已經不允許華夏留學生，進入關鍵性科技領域學習了，以防止技術外泄，半導體，生命科學，航空航天，都屬于被禁的領域。 但溫成嶺雖然見多識廣，卻從未見過這樣夸張的光刻機設計，一臺機器，同時在六個機臺上展開全自動作業，效率應該會非常高吧。 溫成嶺一邊換上白色防塵服，一邊暗暗在心里想，世界科技史上，從來就不缺乏精彩絕倫的創意，然而把創意變為現實，卻是非常困難的，星辰科技的初代機，應該還是用來做驗證，完成度應該不會太高才對。 光刻機這個東西難到了什么程度呢？ 全世界只有一家公司能做EUV，也就是荷蘭ASML。 紫外光時代，全球有上百家企業出沒在光刻機領域，那個時候真可謂百花齊放，精彩紛呈。 然而好景不長，隨著深紫外光技術的推出，原本一百多家制造光刻機的企業，銳減到三家，除了佳能，尼康，ASML之外，其他所有企業全部慘遭淘汰。 從這也不難看出，一次技術進步，會給全行業帶來多么嚴重的洗牌。 所有人都死了，還活著的三家自然賺的盆滿缽滿，他們吃著火鍋，唱著歌，大把鈔票自然就來了，生活簡直不要太愜意。 可惜時間又過了幾年，隨著半導體技術不斷推陳出新，深紫外光刻也漸漸變的力不從心。 于是光刻機領域開始了第二輪技術競賽，而這次技術競賽的結果，是佳能和尼康出局，荷蘭ASML成為最后的贏家。 全球唯一能夠制造極紫外EUV光刻機的超級怪獸，就此誕生！ 這樣的慘烈競爭，簡直可怕！ 要知道，尼康和佳能絕不是吃素的，他們都是這個世界上最厲害的光學企業。 一說起他們兩家，普通人會馬上想到數碼相機，各種鏡頭之類的民用產品，但尼康和佳能最強大和最賺錢的并不是民用領域，而是醫療器械。 當你去醫院里，花一千來塊錢拍個CT的時候，所用的設備，很可能就是佳能或者尼康制造的，要不然就是理光，西門子，日立。 而一臺CT設備的售價，高達上千萬元，僅僅華夏地區，就有上萬套CT設備，全部來自進口，你猜這些年來，霓虹醫療器械巨頭，從華夏賺走了多少錢？ 再說，你買了一臺CT機并不算完，配套軟件，設備檢修，各種耗材，也是要花錢從霓虹人手里買。 總而言之，佳能和尼康是極其厲害的企業，光學領域扛鼎的存在，卻依然慘敗給荷蘭ASML，足以看出這個行業的門檻不是高，而是高到了天上。 荷蘭ASML也不是什么無名小卒，它們的前身是大名鼎鼎的飛利浦光學，他們用的物鏡，來自全球鏡片領域第一大牛，德國卡爾.蔡司。 可以說，集合整個歐洲，再加上一部分北美的力量，才搞出了ASML這個怪物。 在過去，ASML是沒有對手的，直到星辰科技出現。 羅佳異想天開，決定彎道超車，繞過由紫外光，深紫外光，極紫外光組成的前三代核心技術，直接進入光刻機的第四代，超紫外混合激光，這其中的難度，外行人是永遠無法明白的。 溫成嶺正思考著，實驗室的密封門忽然在他面前打開了。 他笑了笑，在進入實驗室之前對羅佳認真的說道：“羅總，我的專業是激光，也自信能夠搞定光刻機的光源問題，但您應該也知道，一臺光刻機僅僅有光源是不夠的，其他數以千計的核心零部件，我可就無能為力了。” 這算是給羅佳打預防針了，他說這話的意思是，我能幫你把超紫外混合激光搞出來，但激光之外的事情，我也是無能為力，還要看星辰科技自己的力量。 羅佳只是點頭笑了笑，并沒有說什么。 兩個人很快來到這臺機器跟前，羅佳淡淡的說，“這就是我們的初代機，它共分為十三大結構，分別是激光發生器，光束矯正器，能量控制器，光束形狀調整器，遮光器，能量探測器，掩膜版，掩膜臺，物鏡，測量臺，曝光臺，封閉框架，磁懸浮減震。” 羅佳指著機器，介紹這臺復雜的組成。 雖然聽名字似乎很簡單，但就算用腳后跟想也能明白，作為半導體行業的王冠，又怎么可能簡單呢。 就拿這臺光刻機的物鏡來說，如果你以為那是一個類似單反鏡頭東西，那就完全錯了。 ASML公司EUV型光刻機采用的物鏡，高達一米八四，寬度接近七十公分，是德國光學巨頭卡爾.蔡司集團，與激光巨頭亞琛集團聯合制造的。 物鏡多少錢？ 抱歉，無論羅佳掏多少錢，都買不到這套物鏡。 從成本的角度估算，這套物鏡的成本應該在一千萬美元左右，其復雜程度和精確程度，足以被寫入光學發展史。 羅佳給溫成嶺看的，就是這么個東西，它巨大而精密，充滿科幻電影般的未來感。 而且ASML的EUV是第三代，羅佳這個是第四代，超紫外光，技術復雜程度還要更高。 “你們...竟然已經做到了這種程度！？”溫成嶺激動的瞪大眼睛，發出不可思議的聲音。 剛才距離遠，又隔著玻璃，所以沒太看清楚，還以為是個樣子貨。 如今走進無塵實驗室里，溫成嶺才恍然發覺，這臺四代光刻機的完成度，已經如此之高！ 科技霸權 第二百九十九章 研發中的第四代光刻機
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